スピン洗浄装置 卓上型マニュアルスピンコーター
【デモ機貸し出し可能！】300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式です
基本情報
【特徴】 ○300mm□ガラス基板対応 ○卓上型マニュアル式 ○条件設定は操作パネルのタッチパネルで実行 ○各処理モード中はタッチパネル上に各モード表示 【仕様】 ○外形寸法：W420×D500×H335 ○モーター：600WACサーボモーター 200V （100Vの場合15Aトランス オプション） ○回転数：0～3000rpm （MAX5000rpmはオプション） ○回転数表示：デジタル表示 ○回転精度：±1rpm ○プログラム数：10プログラム50ステップ ○試料台：真空吸着－50Kpa （真空ポンプはオプション） ○インナーカップ：φ270アルミ削り出し、表面処理 ○外カップ：SUS304 φ360絞り加工 ○排気/廃液：廃棄はオプション、廃液はカップ止め ●詳しくはお問い合わせ下さい。
価格情報
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用途／実績例
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取り扱い会社
ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。
