スピン洗浄装置 自動レジストスピンコーター JASC-200型
対象ワーク：2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用！
基本情報
【特徴】 ○カセットtoカセットの自動スピンコーター ○レジストをコートし次にベーク工程も自動実行 ○処理工程はU字型に配置 →ローダー、アンローダーも同一側 →オペレーター1人で作業可能 ○工程間の搬送は多間接ロボットを採用 ○対象ワーク：2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用 【仕様】 ○外形寸法：W2000×D1500×H1750 ○ローダー：1カセット収納 ○センタリング：エアーシリンダー ○カップ：SUS304テフロンコート ○回転数：MAX3000rpm ○モーター：400W AC サーボモーター ○搬送機：多関節ロボット ○ハンガー：エッジクランプ方式 ○ベーク：ホットプレート3段、搬送シャトル方式 ○アンロード：1カセット収納 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。
