ジャパンクリエイト株式会社 公式サイト

スピン洗浄装置 スピナー MSC-200型

小型コンパクト・オプションにて10,000rpmに可能!

ジャパンクリエイト株式会社のスピンナーは数あるスピンナーの中で性能、価格に重視し開発されている製品です。研究所、学校等に使用して頂く実験用のマニュアルスピンナーです。主にシリコンウェハー(ガリ砒素、ガラス、セラミック)等のレジストコーティングをはじめとして、現像装置、エッチング装置、剥離装置、スピン乾燥装置等の応用も可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

関連リンク - http://www.japancreate.co.jp/

基本情報

【特徴】 ○小型コンパクト ○オプションにて10,000rpmに可能 ○膜厚が安定 【仕様】 ○ワークサイズ:φ30~100mm×t1mm(φ2"~φ4") ○試料台:オプション ○カップ径・材料:φ200mm ○本体材質・寸法:SS+焼き付け塗装 W250×D300×H250mm ○スピンモーター:スピードコントロールモーター 40W ○回転数:250~5,000rpm オプション 10,000rpm ○回転表示:アナログメーター ○回転数ステップ:2ステップ ○付帯設備 →電源:AC100V 500VA 50/60Hz ±10%以内 →真空:-50Kpa.10L/min以上 φ6mm 200torr以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

価格情報

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納期

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用途/実績例

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取り扱い会社

ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。

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