ウエハー自動洗浄装置 カセットレス自動洗浄装置
【デモ機貸し出し可能！】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します
基本情報
【特徴】 ○ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置 ○機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択可能 ○各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します 【仕様】 ○ウエハーサイズ：～φ300m/m ○HEPA又はULPA：フィルター内蔵 ○ロボット：サーボモーター ○薬液槽：揺動、超音波洗浄、メガソニック ○リンス槽：バブリング、QDR、比抵抗計設置 ○ULD：lonaizar（オプション） ○乾燥：S/D. IPA V/D. 引き上げ ●詳しくはお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
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取り扱い会社
ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。
