ウエハー自動洗浄装置 枚葉式自動洗浄装置 スプレータイプ
【デモ機貸し出し可能！】各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（フープ対応可）
基本情報
【特徴】 ○枚葉式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置 ○各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供（フープ対応可） 【仕様】 ○ウエハーサイズ：～φ300mm ○洗浄液：有機、アルカリ、酸 ○純水リンス：O3＋純水、CO2＋純水 ○搬送機構：クリーンロボット ○超音波：メガソニック ○乾燥：スピン、N2ブロー、ホットプレート ○オプション：ブラシ洗浄、高圧ジェット ●詳しくはお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
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取り扱い会社
ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。
