スピンドライヤー SPD-1200G
【デモ機貸し出し可能！】蓋にULP又はHEPAフィルターを内蔵し、クリーン度を飛躍的に向上
基本情報
【特徴】 ○蓋にULPA又はHEPAフィルターを内蔵 →クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度が飛躍的に向上 ○異常振動が発生した場合、自動的に停止 ○特殊シールにより回転軸からのパーティクルの発生を防止 【仕様】 ○型式：SPD-1200G ○基板寸法：W300×D300×0.3t ○回転数：600rpm～800rpm ○本体外寸：W1250×D1400×H1200 ○排気：φ150 autodumper ○電源：φ3 AC200V 3KVA ●詳しくはお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
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取り扱い会社
ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。
