枚葉式ウエハ処理装置『自動ウエハ洗浄装置』
3軸多関節クリーンロボットと単軸ロボットの組み合わせで構成！
基本情報
【工程】 ○Centering ○loader ○SC1+High-spray ○SC1+Megasonic ○Megasonic+H2 ○Bake+N2 ○Cool plate ○unloader ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。
