枚葉式ウエハ処理装置『自動基板用現像装置』
装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し基盤搬送！
基本情報
【工程】 ○Centering ○loader ○Developing+Rinse ○Bake ○Bake ○Cool plate ○unloader ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。
