枚葉式ウエハ処理装置『自動ウエハレジスト塗布装置』
高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置
基本情報
【工程】 ○Centering ○loader ○HMDS ○Resist coater ○Bake ○Bake ○Bake ○Cool plate ○unloader ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。
