枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』
カスタマイズOK！素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可能です
『RCAウエハ洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。 ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに 採用した「FOUP」により、ノンパーティクル環境での洗浄を実現しました。 【特長】 ■お見積もりからカスタマイズまで、素早い対応が可能 ■自社装置はもちろん、他社装置もフォローOK ■急な仕様変更にも細かく対応 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 【展示会出展情報】 SEMICON Japan 場所：東京ビッグサイト 期間：2017年12月13日～15日 小間番号：3509 東ホール
基本情報
【ラインアップ】 『RCAウエハ洗浄装置』のほかにも多数ラインアップしています。 ■自動ウエハ洗浄装置 ■自動エッチング装置 ■自動基板用現像装置 ■自動ウエハレジスト塗布装置 ■自動角型基板レジスト塗布装置 ■自動レジスト塗布現像装置 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。
