CO2スプレー洗浄装置
基板サイズは最大φ12インチ！当社独自ノズルのCO2ラバージェットノズル使用
基本情報
【洗浄原理】 1.化学的洗浄作用 ・液体CO2粒子の化学的特性（溶解性）を利用した有機物除去 2.物理的洗浄作用 ・個体CO2粒子の衝突による物理的ブラスト効果を利用した異物除去 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■CCDセンサー：マイクロレンズ上のパーティクル除去 ■MEMS：スパッタ残渣除去、濡れ性改善 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
取り扱い会社
ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。
