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半導体搬送の静電気・ゴミ対策に!帯電防止PEEKコーティング

【歩留まり向上】PEEKコーティングの耐摩耗性と優れた帯電防止機能を両立。搬送ハンドの静電気を抑え、パーティクル付着を低減。

高度なクリーン環境が求められる半導体・電子部品の製造工程において、シリコンウエハやガラス基板を移送する搬送ハンド(ロボットハンド、エンドエフェクタ)の静電気・パーティクル対策は、歩留まりを左右する重要課題です。 従来の「PEEK樹脂の削り出し成形品」は、連続稼働による摩耗粉(パーティクル)の発生に加え、樹脂特有の帯電性によって摩耗粉や周囲のゴミを吸着し、回路パターンの不良を招く原因となっていました。 ■帯電防止機能付きPEEKコーティング「PEEKCOAT N04blk」 ・PEEK樹脂が持つ本来の優れた機械特性や耐薬品性を維持しつつ、塗膜に帯電防止機能を付与。 ・摩擦静電気の発生を極小化し、周囲の微細なパーティクルを寄せ付けない表面環境を実現します。 ・部品表面に滑らかで平滑な塗膜を形成するため、デリケートなワークに接触してもキズをつけず、クリーンルーム内の発塵を抑制。

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基本情報

【製品名】 PEEKCOAT N04blk(帯電防止グレード) 【ベース樹脂】 PEEK樹脂(ポリエーテルエーテルケトン) 【機能的特長】 ■優れた帯電防止機能 PEEK本来の耐摩耗性・耐薬品性を損なうことなく、的確な導電性を付与。摩擦静電気によるゴミ・パーティクルの吸着を強力に抑制します。 ■高平滑・低摩擦 シリコンウエハやガラス基板などのデリケートな基材を傷つけない、滑らかな表面特性を実現。 【ハイブリッド構造の提案】 従来の樹脂単体成形品から「高剛性な金属(SUS等)基材+PEEKCOAT N04blk」への仕様変更を提案。芯材を金属にすることで、繰り返しの搬送負荷や衝撃による変形、爪先の割れ・破損を完全に防止します。

価格帯

納期

型番・ブランド名

PEEKCOAT

用途/実績例

高精度かつ静電気対策・クリーン化が求められる、半導体・液晶製造装置などの精密搬送部品に多数の実績があります。 【主な用途】 ■半導体製造工程のロボットハンド、エンドエフェクタ ■ガラス基板・シリコンウエハの移送・支持治具 ■精密電子部品の搬送チャック、爪部品 【導入効果】 コーティング膜の優れた帯電防止機能により、搬送時の静電気帯電を抑制。ハンドへの摩耗粉付着だけでなく、製品基材へのパーティクル転移・混入を防ぎ、製造ラインの歩留まり向上を達成しています。 当社は試作から量産まで対応する受託加工の専門メーカーです。お客様のクリーン化への課題に対し、設計段階から最適な仕様をご提案いたします。

【PEEKCOAT】PEEKコーティングの特長と用途をわかりやすく紹介 PFASフリーコーティング

技術資料・事例集

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取り扱い会社

当社は、各種産業部品へのフッ素樹脂・PEEKコーティングなどの機能性コーティングを提供する受託加工メーカーです。 特にフッ素樹脂コーティング(PTFE・PFA・FEP・ETFE)を中心に、非粘着性、離型性、耐薬品性、耐熱性、低摩擦性を付与するコーティング技術を提供しています。 また近年は、PFAS規制への対応ニーズの高まりを背景に、PEEKコーティング(PFASフリー)の提案も強化。PEEKコーティングをはじめとし、高耐熱・高耐薬品環境で使用される部品の保護や長寿命化に貢献しています。 【多様なコーティングブランド】  ■非粘着・離型コーティング  ■耐薬品・腐食防止コーティング  ■耐摩耗コーティング  ■帯電防止コーティング  ■低温焼成タイプのフッ素系コーティング  ■プライマーレスフッ素樹脂コーティング 金属だけでなくアルミニウム、ステンレス、樹脂、ゴムなど幅広い基材への加工実績があります。用途や使用環境に合わせた最適なコーティング仕様の提案から試作評価、量産加工まで一貫対応し、付着防止、離型改善、摩擦低減、耐薬品性向上、耐熱性向上などの課題解決をサポートしています。