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ウルトラソニック洗浄ユニット
超音波の液共振により発生するキャビテーションでパーティクルを除去！磁気ディスク等の洗浄に好適
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ファインシリーズ洗浄ユニット
サブミクロンのパーティクルを750kHz～3.0MHzの高周波でダメージレス洗浄
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精密洗浄装置
洗練された超音波洗浄ユニットにより、スーパークリーン洗浄を実現
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ディスク洗浄装置
バッチ洗浄とブラシ洗浄の組み合わせでハイクオリティな洗浄を実現
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カセットレス洗浄装置
品質と省エネを高い次元で両立。少ない槽内薬液量で、よりいっそうクリーンに
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スピンソニッククリーナー
サブミクロンのパーティクルまでも非接触でウェハー両面を同時洗浄
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洗浄ユニット『ファインソニック』
バッチ式メガソニック！750kHzや2000kHzなど多彩な周波数を選択可能
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洗浄ユニット『ファインスコール』
小型基板から大型液晶板までの枚葉及び平送り洗浄ツールのご紹介！
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洗浄ユニット『ファインジェット』
低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応！
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