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半導体ウェハー向け洗浄ユニット『PA10-Q60AE-S』
基板直近照射で効率的に微粒子を除去。高周波メガソニックを用いた精密ウェハー洗浄ユニット。※デモ機あり
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半導体洗浄槽向け 超音波音圧センサー「PT-VM02」
キャビテーション強度や経年劣化を数値で見える化！洗浄槽の状態を高精度に測定し、装置の安定稼働をサポート
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LEDハイパワーユニット（ラジカル洗浄ユニット）
長時間のランニングを実現！脱水銀社会に向けて、深紫外LEDを搭載した洗浄液処理ユニット
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超音波音圧計『ソニックチェッカー PT-VM02』
最軽量型ハンディタイプアンプで持ち運び可能な超音波音圧センサー。精密洗浄、部品洗浄などの超音波洗浄分野の管理工程に。
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洗浄ユニット『近接型メガソニック PA10-Q60AE-S』
シリコンウェハー、フォトマスク、液晶ガラス、磁気ディスク等の洗浄、CMP後の洗浄、枚葉式洗浄に好適
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ウルトラソニック洗浄ユニット
超音波の液共振により発生するキャビテーションでパーティクルを除去！磁気ディスク等の洗浄に好適
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ファインシリーズ洗浄ユニット
サブミクロンのパーティクルを750kHz～3.0MHzの高周波でダメージレス洗浄
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精密洗浄装置
洗練された超音波洗浄ユニットにより、スーパークリーン洗浄を実現
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ディスク洗浄装置
バッチ洗浄とブラシ洗浄の組み合わせでハイクオリティな洗浄を実現
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カセットレス洗浄装置
品質と省エネを高い次元で両立。少ない槽内薬液量で、よりいっそうクリーンに
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スピンソニッククリーナー
サブミクロンのパーティクルまでも非接触でウェハー両面を同時洗浄
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洗浄ユニット『ファインソニック』
バッチ式メガソニック！750kHzや2000kHzなど多彩な周波数を選択可能
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洗浄ユニット『ファインスコール』
小型基板から大型液晶板までの枚葉及び平送り洗浄ツールのご紹介！
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洗浄ユニット『ファインジェット』
低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応！
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