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スピン洗浄装置 自動レジストスピンコーター JASC-200型
対象ワーク：2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用！
最終更新日
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スピン洗浄装置 高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A
均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！
最終更新日
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スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型
対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！
最終更新日
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スピン洗浄装置 スプレー現像装置 SD-8004型
自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います！
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【デモ機貸出中！】卓上型スピンコーター
省スペースなスピンコーター 排気装置もこの一台に内包 インナーカップ方式
最終更新日
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枚葉式スピンスプレー洗浄装置 SRC-15001
2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！
最終更新日
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処理装置の総合カタログ「枚葉式ウエハ処理装置総合カタログ」
【無料配布中】自動エッチング装置や自動基盤用現像装置の総合カタログ
最終更新日
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枚葉式ウエハ処理装置『自動ウエハ洗浄装置』
3軸多関節クリーンロボットと単軸ロボットの組み合わせで構成！
最終更新日
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枚葉式ウエハ処理装置『自動エッチング装置』
装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しウエハ搬送！
最終更新日
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枚葉式ウエハ処理装置『自動基板用現像装置』
装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し基盤搬送！
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枚葉式ウエハ処理装置『自動ウエハレジスト塗布装置』
高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置
最終更新日
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枚葉式ウエハ処理装置『自動レジスト塗布現像装置』
高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置
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枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』
カスタマイズOK！素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可能です。
最終更新日
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枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』
カスタマイズOK！素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可能です
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卓上ダイヤモンドワイヤーソー『MH-100』
研究開発用途に最適！小型で省スペースのラボ用卓上ダイヤモンドワイヤーソー
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MH-500 自動シングルダイヤモンドワイヤーソー
ダイヤモンドワイヤーを用い脆性材料の端面出し、シリコンウエハ、ガラス、水晶等の切り出しに好適。
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MH-1000 マルチワイヤーソー
●高性能電着ダイヤモンドワイヤーによるダウンカット方式 ●固定砥粒のためスラリーが不要
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CO2スプレー洗浄装置
基板サイズは最大φ12インチ！当社独自ノズルのCO2ラバージェットノズル使用
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【オーダーメイド製作実績】CVD装置
「金属容器用プラズマCVD装置」「ICP型MOCVD装置」などの実績を保有しています！
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DLCコーティング装置
広範な膜特性の制御可能！基板加熱源は水冷型と加熱型から選択いただけます
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PETボトル用プラズマCVD装置
3L容器までコーティング可能！容器軽量化による物流コストの低減などに貢献します
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RTA装置
トレイ搬送にも対応可能！優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現
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カーボンナノチューブ合成装置
優れた膜厚分布および再現性を実現！基板プラズマクリーニングシステム搭載
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【オーダーメイド製作実績】スパッタリング装置
「有機EL用GB付きスパッタリング装置」や「研究開発用IBS装置」などの実績を保有！
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ドライエッチング装置
RIEモードとDPモードの切り替えが可能！特殊表面処理によるメタルコンタミ低減
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【オーダーメイド製作実績】ドライエッチング装置
「XeF2エッチング装置」「バッチ式アッシング装置」などの実績を保有しています
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ロードロック式EB蒸着装置
好適な表面処理によるパーティクル低減！ロードロック式による高真空プロセスに対応
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ロードロック式スパッタリング装置
CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可能です！
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【オーダーメイド製作実績】各種真空装置
デモ機にてサンプル処理を実施！「研究開発用アニール装置」などの実績を保有
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酸化膜／窒化膜プラズマCVD装置
広範な膜特性の制御可能！大幅なパーティクル低減および生産性を向上します
最終更新日