【分析事例】電子部品
【分析事例】電子部品
電子部品の分析事例をご紹介します
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【分析事例】銅(Cu)の酸化膜厚評価 保管環境による違い
TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能
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【分析事例】銅(Cu)表面自然酸化膜の層構造・膜厚評価
TOF-SIMSによる深さ方向の状態評価
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【分析事例】薄いカーボン膜の深さ方向分析
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)やグラフェンの深さ方向分析が可能
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【分析事例】DLC膜のsp2/(sp2+sp3)比高精度定量化
XAFSによる高精度解析
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【分析事例】DLC膜のsp2/(sp2+sp3)比の評価
C1s波形解析を使用したsp2/(sp2+sp3)比の評価
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【分析事例】薄膜表面処理後の仕事関数評価
ITO表面プラズマ処理後のUPS分析
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ケミカルシフトによる金属酸化物の価数評価
XPS：X線光電子分光法
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有機膜材料の配向角評価
XAFS：X線吸収微細構造
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電子回折の種類と特徴
TEM：透過電子顕微鏡法
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揮発性有機化合物（VOC）P&Tによる微量成分の検出
GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法
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【分析事例】TOF-SIMS Siウエハ保管による表面汚染評価
フッ酸処理で酸化膜を除去したSiウエハの汚染・酸化の評価
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【分析事例】粉体異物の定性分析
手法を組み合わせることで、複数種類の成分情報を得ることが可能です
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【分析事例】表面酸化膜のある異物の状態評価
水酸化アルミニウムAl(OH)3と酸化アルミニウムAl2O3の評価が可能です
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【分析事例】ポリイミド樹脂の構造解析
熱分解GC/MS法によりポリイミド樹脂の構造解析が可能
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【分析事例】イオン注入アニール処理後Si低温PLスペクトル
照射欠陥やアニールによる結晶性の回復を確認することが可能です
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【分析事例】室内雰囲気中の腐食成分分析
インピンジャー捕集法による大気中イオン成分の分析が可能です
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ハートカットEGA法による発生ガス分析
GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法
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【分析事例】XAFSによるシリコン酸化膜評価
シリコン周囲の局所構造解析、中間酸化物の定量、バルク・界面の評価
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【分析事例】SIMSによるSi表面近傍のBの深さ方向分布評価
試料冷却による高精度なBのプロファイル分析
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【分析事例】カーボン膜の構造評価
構造特定・結晶性・sp3性の評価
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【分析事例】TOF-SIMSウォーターマークの無機・有機同時評価
微小特定箇所の無機成分・有機成分を同時に測定
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【分析事例】フラックスの洗浄残渣評価
微小・極薄の残渣をイメージとして捉えます
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【分析事例】プリント基板上有機物系異物の分析
適切なサンプリングで異物周辺情報の影響を軽減
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【分析事例】プリント基板上有機物系異物の分析
適切なサンプリングと顕微測定で異物周辺情報の影響を軽減
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【分析事例】プリント基板からの溶出成分の分析
液体試料中の陽イオン成分の分析が可能です
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【分析事例】TOF-SIMSによる部品表面シミ・水はじき原因調査
切断できない大きな部品でも表面汚染を適切にサンプリングして測定
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【分析事例】ZnO膜表面の形状観察
広域の表面形状観察が可能
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【分析事例】洗浄リンス液中の有機物残渣量評価
TOCやLC/MS/MSによる評価が可能です！
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【分析事例】クロスハッチパターンの形状観察
高い垂直方向分解能で小さな凹凸を可視化可能
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【分析事例】高分子表面のイオン照射による損傷層の評価
GCIB（Arクラスター）を用いることで損傷層の成分・厚さ評価が可能
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