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【分析事例】銅(Cu)の酸化膜厚評価 保管環境による違い

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

配線材料として用いられる銅(Cu)は空気中で酸化膜を生じますが、保管環境の違いによる膜厚の差を評価した事例をご紹介します。アルミホイルで包んだ銅(Cu)と、ビニール袋に入れた銅(Cu)をそれぞれ40日間保管し、TOF-SIMSにて酸化膜厚の測定を行いました。また、約20日間にわたる継続した調査により、再現性が得られていることを確認しました。 TOF-SIMSは酸化物や金属など無機物の深さ方向分析が可能です。 測定法:TOF-SIMS 製品分野:ディスプレイ・LSI・メモリ・電子部品 分析目的:化学結合状態評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

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用途/実績例

ディスプレイ・LSI・メモリ・電子部品の分析です

【分析事例】銅(Cu)の酸化膜厚評価 保管環境による違い_C0372

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