【分析事例】LSI・メモリ
【分析事例】LSI・メモリ
LSI・メモリの分析事例をご紹介します
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【分析事例】めっき試料の脱ガス評価
Ni/Auめっきの昇温脱離ガス分析（TDS）
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【分析事例】TDSによる腐食性ガス分析
製品に悪影響を及ぼすガスを確認できます
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【分析事例】低温PL・SIMS分析Si基板の格子間型炭素の評価
Si基板に含まれる微量な炭素の確認が可能です
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【分析事例】ワイヤボンディング界面の元素分析
加工を併用することで界面の元素分析が可能
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【分析事例】ウェハの粘着シート成分の分析
有機汚染の定性・定量・分布を複数手法の組み合わせで評価
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【分析事例】水素終端ウエハの脱ガス分析
最表面、単原子層の水素をTDSで評価可能です
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【分析事例】低温顕微PL分析によるSi系IGBTチップ断面の評価
断面方向からライフタイムキラーの影響を確認することが可能です
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XPSにおける吸着酸素の影響
XPS： X線光電子分光法
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【分析事例】メルブロミンの皮膚への浸透性評価
価電子帯・ギャップ内準位について元素別の情報が得られます
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【分析事例】X線吸収・発光分光によるバンド構造評価
材料の価電子帯・伝導帯・ギャップ内準位の詳細な情報が得られます
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界面および深さ方向分解能について
SIMS：二次イオン質量分析法
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クリーンルーム内有機化合物の評価方法
GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法
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【分析事例】ラマンマッピングによる応力評価
試料断面における応力分布を確認することが可能です
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【分析事例】セラミックス材料に含まれる微量金属の価数評価
ppmオーダーの微量金属も評価可能です
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AFMデータ集
AFM :原子間力顕微鏡法
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【分析事例】角度分解XPS（ARXPS）による極薄膜組成分布評価
基板上の極薄膜についてデプスプロファイルを評価可能です
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【分析事例】単結晶Si表面のダメージ評価
高分解能測定と波形解析を利用してc-Siとa-Siの状態別定量が可能
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【分析事例】STEM・EDXと像シミュレーション結晶構造評価
STEM像と原子組成の測定結果から結晶構造の評価ができます
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【分析事例】分子動力学計算を用いたアモルファスSiNx膜構造解析
シミュレーションによってアモルファス膜のミクロな構造解析が可能です
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【分析事例】DRAMチップのTEM・SEMによる構造解析
製品内基板上DRAMのリバースエンジニアリング
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【分析事例】SEMとSIMによるCu表面の二次電子像の比較
着目する表面構造によって2手法の使い分けが有効です
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【分析事例】走査イオン顕微鏡によるCu表面の結晶粒観察
金属多結晶の結晶粒の大きさや分布に関する知見を得ることが可能です
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【分析事例】低分子シロキサンの定量分析
アウトガス中のシロキサンをngオーダーで定量します
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【分析事例】Cu表面のXPSによる酸化状態評価
Cuスペクトルの成分分離、定量、膜厚算出
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【分析事例】カーボンナノチューブの曲げ変形シミュレーション
ナノ材料に外力を加えた時の形状変化、歪みエネルギーの評価が可能
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【分析事例】撥水箇所の成分分析
TOF-SIMSは複数成分の広域イメージング評価が可能です
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EV関連分析事例
分析でEV開発のEVolutionを！
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【分析事例】発光寿命測定によるキャリアライフタイム評価
発光寿命からSiCのキャリアライフタイムについて知見が得られます
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【分析事例】半導体パッケージのはんだ濡れ性試験
劣化加速試験後の電極のはんだ濡れ性試験が可能です。
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SIMS分析データの再現性
再現性の高い不純物量評価が可能です
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