【分析事例】LSI・メモリ
【分析事例】LSI・メモリ
LSI・メモリの分析事例をご紹介します
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Xe-プラズマFIBによる構造解析
数百μmの広い領域を対象に精密加工/構造評価が可能
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【分析事例】GaNの部分状態密度測定
価電子帯・ギャップ内準位について元素別の情報が得られます
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【分析事例】STEM、EBSD像シミュレーション多結晶体構造解析
像シミュレーションを併用した結晶形の評価
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【分析事例】TDSによるα-アルミナ（α-Al2O3）の分析
セラミックスの昇温脱離ガス分析
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【分析事例】シリコン結晶中の不純物拡散シミュレーション
シミュレーションによって拡散の経路・障壁を求めることが可能です
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【分析事例】分子動力学計算による機械的特性評価シミュレーション
環境変化（圧力・温度）に対するナノ材料の変形挙動の解析が可能です
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【分析事例】SiON極薄膜中の成分深さ方向分析
TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能
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