【分析事例】SiON極薄膜中の成分深さ方向分析
TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能
基本情報
測定法：TOF-SIMS 製品分野：LSI・メモリ 分析目的：化学結合状態評価・組成分布評価
価格帯
納期
用途／実績例
LSI・メモリの分析です。
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取り扱い会社
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