【分析事例】LSI・メモリ
【分析事例】LSI・メモリ
LSI・メモリの分析事例をご紹介します
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AESの異物分析における注意点
AES：オージェ電子分光法
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【分析事例】TOF-SIMSウォーターマークの無機・有機同時評価
微小特定箇所の無機成分・有機成分を同時に測定
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【分析事例】SIMSによる酸化物ReRAM動作領域の元素分布評価
酸化物デバイスにおける局所元素分布を酸素同位体を用いて高感度に評価
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2次元検出器を用いたX線回折測定
XRD：X線回折法
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【分析事例】ウェハ・チップの特定箇所の前処理技術
目的箇所のみサンプリングし、ウェハを割らずにサンプル作製します
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【分析事例】SIMSによるSi中不純物の超高感度測定
感度を高めてpptレベルの濃度分布を評価します
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【分析事例】SIMSによるMEMS中ドーパントの三次元分布評価
イメージングSIMSにより微小領域・微量元素の濃度分布を可視化できます
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HAADF-STEM像とは
HAADF-STEM：高角散乱環状暗視野走査透過顕微鏡法
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【分析事例】バイポーラトランジスタ（IGBT）の不良品調査
高電圧電源を用いたエミッション顕微鏡による故障箇所の特定
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【分析事例】SIMSによる半導体基板中軽元素の高感度分析
SIMS分析によりH、 C、 N、 O、 Fなどを1ppm以下まで評価可能
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【分析事例】Siウエハベベル部の汚染評価
金属成分と有機成分を同時に評価可能です
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【分析事例】SIMSによるSiO2中アルカリ金属深さ方向分布評価
試料冷却による高精度なアルカリ金属の分布評価
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【分析事例】HfZrOx膜の結晶構造同定・含有割合の算出
XRD・XAFSによる複合解析で、より詳細な評価が可能
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【分析事例】TOF-SIMSによる微小領域の定性・イメージ分析
サブμmオーダーの異物、微小領域の定性・イメージ分析が可能
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【分析事例】はんだ剥離部断面のTOF-SIMS分析
微小領域の無機・有機物の分布評価が可能です
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【分析事例】TDSによる脱離成分の推定
複数質量の脱ガスパターンを比較します
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【分析事例】AES・SEM-EDXによるCu表面変色部の評価
SEM観察を行いながら検出深さの浅い元素分析が可能
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【分析事例】微小ビアのイメージ分析
微小領域の分布評価が可能です
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XPS・AESによる深さ方向分析の比較
XPS：X線光電子分光法 AES：オージェ電子分光法
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【分析事例】ウエハケース内ウエハの有機汚染評価
製造プロセスおける有機汚染の原因や総量を評価できます
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代表的な材料・目的別のTDS解析例
TDS：昇温脱離ガス分析法
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【分析事例】二酸化ケイ素の構造解析
非晶質（ガラス）二酸化ケイ素（SiO2）のラマン散乱分光法による構造解析
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球面収差補正機能
TEM：透過電子顕微鏡法
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【分析事例】ウォーターマーク原因調査
TOF-SIMSを用いた最表面の汚染源の特定
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【分析事例】高温XRDによる熱分解生成物の同定
昇温しながらXRD測定が可能
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【分析事例】高温XRDによる金属膜の評価
昇温過程での相転移・結晶性変化を追跡評価
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【分析事例】ウエハ表面の微小異物分析
加工無しで30nmサイズの組成分析が可能
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【分析事例】AES分析による積層試料の割断面評価
割断サンプルで50nm薄膜を可視化
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【分析事例】エタノールをつけた綿棒の残渣分析
TOF-SIMSにより光学顕微鏡で見えないシミや洗浄残渣の分析が可能
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【分析事例】TDSによるSiN膜の昇温脱離ガス分析
薄膜の表面吸着ガス、膜中からの脱離ガスを評価可能
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