【分析事例】半導体基板中軽元素の高感度分析
SIMS分析によりH, C, N, O, Fなどを1ppm以下まで評価可能
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用途／実績例
LSI・メモリの分析です
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MSTは受託分析サービスをご提供する財団法人です。 TEM・SIMS・XRDなど、さまざまな分析装置を保有し、分析ニーズに応えます。 知識豊富な営業担当が、適切な分析プランをご提案。貴社に伺ってのご相談も、もちろん可能です。 ISO9001・ISO27001取得。 製品開発・不良原因の解明・特許調査はぜひご相談ください！ MSTは、あなたの「困った！」を解決へと導きます。
