【分析事例】二酸化ケイ素の構造解析
非晶質(ガラス)二酸化ケイ素(SiO2)のラマン散乱分光法による構造解析
二酸化ケイ素(SiO2)は半導体における絶縁膜・FPDの基板材料・光学材料・医療機器から装身具に至るまで幅広く用いられていますが、非晶質であるガラスとして構造解析を行うことは非常に困難です。ガラス中でSiO2が環状に結合することに着目し、ラマン測定を行いました。(図1) 単結晶石英ではガラス状態のスペクトルとは著しく異なり、長距離秩序によるフォノンバンドが観測されます。(図2、 図3)
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LSI・メモリ・ディスプレイの分析です
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