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【分析事例】ウェハの粘着シート成分の分析

有機汚染の定性・定量・分布を複数手法の組み合わせで評価

半導体デバイスの製造工程では、ダイシング用テープなど様々な粘着シートが使用されます。粘着シートは異物・汚染の原因となることがあります。そこで、本事例ではTOF-SIMS・SWA-GC/MSを用いて複合 的に評価した結果をご紹介します。TOF-SIMSでは、粘着シート各材料の定性を行うことで、異物・汚染がどの粘着シートに起因するのか、また粘着シートのどの層に起因するのか同定が可能です。またSWA-GC/MSでは、どの粘着シートがもっとも汚染が少ないかを定量的に確認することができます。

関連リンク - https://www.mst.or.jp/casestudy/tabid/1318/pdid/43…

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用途/実績例

LSI・メモリ・パワーデバイスの分析です

【分析事例】ウェハの粘着シート成分の分析_C0501

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