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代表的な材料・目的別のTDS解析例
TDS：昇温脱離ガス分析法
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【分析事例】酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価
XAFSとXPSの複合解析によって高精度なバンドギャップ評価が可能
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【分析事例】ウエハケース内ウエハの有機汚染評価
製造プロセスおける有機汚染の原因や総量を評価できます
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環境中微量金属元素分析
ICP-MS：誘導結合プラズマ質量分析法
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【分析事例】SIMSによる石英・ガラス中の「水」の評価
｢重水（D2O）処理」を用いた水素の深さ方向分析
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【分析事例】金属(Sn)の昇温脱離ガス分析
低融点金属のTDS分析
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【分析事例】雰囲気制御下での有機金属錯体の定性分析
酸化の影響を受けない条件でTOF-SIMSによる質量分析が可能です
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【分析事例】燃料電池PtRu触媒の雰囲気・温度制御下金属価数評価
ガス雰囲気・温度を制御した条件での化学状態評価が可能
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【分析事例】in-situXAFSのRuO2触媒化学状態評価
着目のガス雰囲気・温度条件下での測定が可能
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【分析事例】微小ビアのイメージ分析
微小領域の分布評価が可能です
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【分析事例】Si-IGBTチップのキャリア濃度分布評価
フィールドストップ層およびライフタイムキラーのSRA評価
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【分析事例】AES・SEM-EDXによるCu表面変色部の評価
SEM観察を行いながら検出深さの浅い元素分析が可能
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EGA-MS法による発生ガス分析
GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法
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GC_MSによるウエハアナライザーを用いた有機汚染評価
GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法
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【分析事例】有機フィルムの昇温脱離ガス分析（TDS）
真空環境下における有機物の脱ガス成分を評価可能
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【分析事例】TDSによる脱離成分の推定
複数質量の脱ガスパターンを比較します
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【分析事例】ガラス試料のTDS分析
赤外線が透過する透明な試料でも昇温脱離ガス分析が可能
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【分析事例】TOF-SIMSによる微小領域の定性・イメージ分析
サブμmオーダーの異物、微小領域の定性・イメージ分析が可能
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【分析事例】はんだ剥離部断面のTOF-SIMS分析
微小領域の無機・有機物の分布評価が可能です
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【分析事例】エポキシ樹脂の構造解析
熱分解GC/MS法によるLED封止材の構造解析
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【分析事例】HfZrOx膜の結晶構造同定・含有割合の算出
XRD・XAFSによる複合解析で、より詳細な評価が可能
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【分析事例】ノズル表面・内壁の組成評価
凹凸サンプルの組成分布評価が可能です
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［UV-Vis］紫外可視分光法
UV-Visは波長ごとに分けた光を測定試料に照射し、試料を透過した光の強度を測定することで、試料の吸光度や透過率を求める手法です
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【分析事例】毛髪のキューティクル表面の成分分布を可視化
有機分子の分布をTOF-SIMSイメージ分析で比較
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【分析事例】血液成分の洗浄残渣評価
TOF-SIMSによる拭き取り残渣の可視化
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【分析事例】XAFSによるシリコン酸化膜評価
シリコン周囲の局所構造解析、中間酸化物の定量、バルク・界面の評価
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【分析事例】GC/MSによる食品中トリグリセリドの分析
トリグリセリドを分解せずに分離・定性が可能
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ハートカットEGA法による発生ガス分析
GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法
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【分析事例】酸化ガリウムGa2O3膜表面近傍の金属元素濃度評価
極浅い領域でも高感度に分析
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【分析事例】カプセル剤タイプ薬の組成分布評価
全体像から局所分布までイメージング評価可能
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