GC_MSによるウエハアナライザーを用いた有機汚染評価
GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法
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用途／実績例
・クリーンルーム内でウエハ表面に付着する有機汚染物質の評価 ・ウエハ搬送容器(FOSB等)内でウエハ表面に付着する有機汚染物質の評価 ・半導体製造プロセスでウエハ表面に付着する有機汚染物質の評価
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