ウエハ搬送ハンド用帯電防止コーティング｜静電気トラブルを防止
【ウエハの静電気・微粒子付着を抑制】メタルタッチを排除！帯電防止・傷つき防止コーティングで、搬送中のスクラッチや静電破壊を防ぐ。
半導体前工程・後工程における自動搬送システム（EFEMや真空搬送ロボットなど）の先端に取り付けられる、金属製またはセラミック製のウエハ搬送ハンド（エンドエフェクタ、ブレード、アーム）向け帯電防止機能付き機能性コーティングの技術事例です。 シリコンウエハを高速かつ安全に搬送するため、帯電防止特性と傷つき防止機能を両立させています。 【導入による主な改善効果】 ■ 静電気によるパーティクル吸着防止 導電性・抗静電性を付与し、搬送時の摩擦帯電を抑えて速やかに除電。クリーンルーム内の微小コンタミがウエハへ吸着するのを防止し、歩留まり向上に貢献します。 ■ ウエハのキズ・チッピング防止 基材とのメタルタッチを完全に排除。被膜の適度な滑り性とクッション性により、ピック＆プレース時の衝撃をやわらげ、ウエハ裏面・エッジの微細なカケ（チッピング）を防ぎます。 ■ 静電破壊（ESD）リスクの低減 帯電を防止することで回路パターンの静電破壊を防ぐとともに、ハンドへの張り付きを解消して安定搬送をサポートします。
基本情報
【施工技術】 受託 帯電防止機能性コーティング（フッ素樹脂系・PEEK系等） 【技術的特長・機能】 ■ 優れた帯電防止・導電特性 摩擦帯電をシャットアウトし、静電気放電（ESD）や異物・微粒子（パーティクル）の吸着を防止 ■ メタルタッチの排除＆衝撃緩衝 金属・セラミック面との直接接触をゼロ化し、ウエハへの擦れキズやチッピングを抑制 ■ 低摩耗・高耐候性 高速連続搬送に伴う摩耗発塵を抑制し、長期間クリーンな表面状態を保持 【対象基材・適用部品】 ■ 各種金属（SUS、アルミニウム等）、各種セラミック（アルミナ等） ■ EFEM・真空搬送ロボットのウエハ搬送ハンド（エンドエフェクタ、ブレード、爪部品） 【リコート対応】 ■ 長期使用で被膜が摩耗した場合も剥離・再施工（リコート）に対応。高価なハンド基材を廃棄せず再利用可能です。 ※セラミック製部品ではリコートは出来ません。
価格帯
納期
型番・ブランド名
Pass-e Coat
用途／実績例
【主な適用分野・装置】 ■ 半導体前工程・後工程：EFEM（ウエハ移送モジュール）、真空搬送ロボット、ソータ装置 ■ 検査・測定工程：ウエハ外観検査装置、レーザーマーカー、プローバー装置の搬送ハンド ■ クリーン搬送：ガラス基板・シリコンウエハの高速ピック＆プレース機構 【課題解決事例】 ■ 課題 自動搬送ロボットのアルミ・セラミック製ハンドによる「メタルタッチ」が原因で、ウエハエッジに微小なチッピング（カケ）や裏面キズが発生していた。さらに、搬送摩擦による静電気でクリーンルーム内の微小パーティクルを引き寄せ、静電破壊（ESD）や歩留まり低下の要因となっていた。 ■ 導入後 ウエハ搬送ハンド先端部・接触面全体へ帯電防止機能性コーティングを施工。 ■ 効果・実績： ・ウエハのキズ・チッピング不良が劇的に減少。 ・静電気帯電が解消され、パーティクル付着・静電破壊リスクを大幅低減。 ・ハンドへの張り付きが解消し、高速かつ安定したポジショニング搬送を実現。
関連動画
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取り扱い会社
■機能性コーティングの受託加工メーカー 各種産業部品へのフッ素樹脂やPEEKコーティングなどの機能性コーティングの加工を行う専門メーカーです。 私たちは、ただ指示通りに塗るだけの加工業者ではありません。製造現場の「くっつく」「滑らない」「すぐ摩耗する」「腐食する」といった頑固な表面のお悩みを、一緒に頭を悩ませて解決する一番身近な技術パートナーでありたいと考えています。 ■部品の課題を独自の表面処理で解決 非粘着性、耐食性、耐熱性、すべり性、帯電防止など、多様な機能をプラス。製造装置の長寿命化や、現場のメンテナンスの手間を減らすお手伝いをします。 ■関東エリアを中心に全国対応！ 埼玉県春日部市の工場を拠点に、関東全域（東京、神奈川、千葉、茨城、栃木、群馬）から全国までスピーディに対応。 ■表面のお悩みは日建塗装工業までご相談ください！ ・今のコーティングに満足していない ・環境規制（PFAS）に合う処理を探している など、図面段階の「こんなことできる？」から試作、量産まで一貫対応いたします。表面のガッカリをスッキリに変えるため、ぜひお気軽にご相談ください！