【事例】 ＦＰＤや太陽電池製造などの大型ステージの精密制御
【実例】ＦＰＤや太陽電池製造などの大型ステージの精密制御
ＦＰＤや太陽電池製造などの大型ステージの精密制御にもファインモーションは使われています。 ステージの大型化と精密化に伴い、ヨーイング・うねり・直角度などの機構補正が重要です。 また、平行軸(ガントリ)制御や特殊な多軸制御、さらには軸動作と同期したヘッド制御など、緻密モーション制御と豊富なモーション機能により実現。 ＦＰＤ製造設備、太陽電池の製造設備、高速・高精度ステージ、高速レーザ加工機等に適しています。 詳しくはお問い合わせ下さい。
基本情報
【特徴】 ○大型ステージの機構補正 →ピッチエラー補正：各軸の進行方向の誤差を補正 →直角度補正：軸の直角度誤差を補正 →ヨーイング補正：軸のヨーイングによる誤差を補正 →うねり補正：軸のうねりによる横方向の誤差を補正 ○機構補正値の計測・設定支援 →レーザ計測などで機構誤差を測定し、補正値を設定 →その際の「運転」「データ計測」「計測値から補正値への変換」などの支援ツールを準備可能 ○高精度な多軸制御 →ｎｍ制御：１ｎｍ単位で１ｍ／ｓｅｃの速度（１Gｐｐｓ）まで対応可能 →制御周期：０．５ｍｓｅｃ／６軸（１ｍｓｅｃ／１４軸） →最小連続補間： ０．５ｍｓｅｃ／６軸（１ｍｓｅｃ／９軸） ０．５ｍｓｅｃ毎の細かい正確な多軸同期制御 ○高精度ステージ制御のための便利な機能 →多軸制御：最大１６軸制御 →平行軸制御： 門型構造や大型ステージの複数モータでの同一軸駆動 同一指令２軸（標準オプション） ３軸以上も可能（専用化） →補間前加減速：コーナ部の加速度に応じて、自動的に減速や加速して軌跡精度を向上 ●詳しくはお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ○半導体製造の大型ステージ ○太陽電池製造 ○ＦＰＤ製造 ○ガントリ構造の大型加工機 ●詳しくはお問い合わせ下さい。
取り扱い会社
テクノは創業から35年以上にわたり一貫して「モーションコントローラ」を開発・販売しています。 高度なNC技術をもっと自由に活用いただく事が最大の使命です。 そのために「NC技術の公開」「ダウンサイジング（小型・ハード最小）」「豊富な緻密モーション機能」を実現してきました。 お陰様で600種類以上のテーマ、数万台の装置に使っていただいています。 ※精密加工機（切削、研削、研磨、ミーリング、中ぐり、放電、レーザー、ウォータジェットなど）、巻線機、巻取機、産業用ロボット、3Dプリンタ、パイプベンダー、バネ製造、フィルムロール、検査装置など 当社の製品、技術、ノウハウ、経験は今後も世界TOPレベルの装置を目指しているお客様に貢献できるものと信じています。
