機能材料評価機器
機能材料評価機器
機能性材料評価機器は、サンプルに光を照射し、透過・反射を測定することにより、膜厚・透過率・反射率・色・偏光情報・複屈折位相差・透明体の三次元観察などを行うことができます。研究開発から品質管理、全数検査まで対応可能です。
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光波動場三次元顕微鏡 MINUK
nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能！フォーカス不要で高速測定 目視では見えないフィルム表面を可視化・定量化
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その場で測れる！ハンディタイプの高精度 膜厚計
約1.1kgの持ち運べる膜厚計。最薄0.1μmから最大100μmまで、検量線不要で操作簡単 ＜デモ機を無料貸し出し中＞
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顕微分光膜厚計 OPTM series
1ポイント1秒測定＆測定エリア最小3μｍ！高性能で使いやすい顕微分光膜厚計
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ラインスキャン膜厚計 インラインタイプ
ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現！
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ラインスキャン膜厚計 オフラインタイプ
全面を高速かつ高精度に膜厚測定可能！
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ラインスキャン膜厚計 オフライン（ウェーハ対応タイプ）
ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面検査を実現！
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リタデーション測定装置 RETS-100nx
独自の分光器だからできるリタデーションの高精度測定！
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インライン膜厚評価システム MCPD Series
光干渉法の採用により、非接触・非破壊膜厚で膜厚測定が可能
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インライン透過率評価システム MCPD Series
インラインフィルム評価システムは、光学式のため非接触・非破壊で透過率、吸光度、色などの測定が可能
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インライン反射率評価システム MCPD Series
インラインフィルム評価システムは、光学式のため非接触・非破壊で反射率、色などの測定が可能
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リタデーション測定装置による超高リタデーション測定
超複屈折フィルムを高速・高精度に測定できる
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