半導体評価機器
半導体評価機器
大塚電子の半導体評価装置は、半導体材料やデバイスの特性評価に特化した高性能な分析機器を提供しています。主な装置には、ウエハや基板の物理パラメータを非破壊・非接触で短時間に測定可能な装置があります。これらの装置は、半導体ウエハの厚みなどの重要なパラメータを高精度・自動で測定でき、研究開発や生産工程、品質管理に広く導入されています。また、独自の測定技術により、表面汚染や膜厚非均一性の解析も可能であり、SiCやGaNなど次世代パワー半導体材料評価にも対応し、半導体産業の多様なニーズに応えています。測定技術や装置開発、ユーザーサポートにおける豊富な実績が大塚電子の特長です。
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分光干渉式ウェーハ膜厚計 SF-3
各種ウェーハの厚み測定や、各種研削・研磨・貼り合わせなどへのプロセスへの組み込みに！
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ラインスキャン膜厚計 オフライン（ウェーハ対応タイプ）
ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面検査を実現！
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膜厚測定装置 スマート膜厚計 SM-100 series
持ち運び可能なハンディタイプの膜厚測定装置！サンプルを傷つけることもなく測定可能 ＜デモ機を無料貸し出し中＞
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顕微分光膜厚計 OPTM series
1ポイント1秒測定＆測定エリア最小3μｍ！高性能で使いやすい顕微分光膜厚計
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マルチチャンネル分光器 MCPD series
広ダイナミックレンジ！高速・高再現性、軽量・コンパクトが特長的
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ロードポート対応膜厚測定システム GS-300
半導体工場の膜厚ニーズに合わせたインテグレーションが可能！
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【半導体成膜管理向け】SM-100 series
持ち運び可能なハンディタイプの膜厚測定装置！サンプルを傷つけずに測定
最終更新日
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【ディスプレイ業界向け】SM-100 series
ディスプレイ製造における膜厚測定の課題を解決！
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【太陽電池向け】スマート膜厚計 SM-100 series
太陽電池製造の効率化に貢献！非破壊で膜厚測定
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【光学部品向け】SM-100 series 膜厚測定装置
反射防止膜の膜厚測定に！ハンディタイプの膜厚計
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【自動車コーティング向け】スマート膜厚計 SM-100
自動車コーティングの膜厚測定を、手軽に、正確に。デモ機無料貸し出し中！
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【医療機器向け】膜厚測定装置 SM-100 series
生体適合性材料の膜厚測定に。ハンディタイプの膜厚計
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【航空宇宙向け】SM-100 series 膜厚測定装置
耐熱コーティングの膜厚測定に！非破壊で測定可能
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【精密機械向け】膜厚測定装置 SM-100 series
表面処理の膜厚測定を、手軽に、高精度に。デモ機無料貸し出し中！
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【電子部品向け】スマート膜厚計 SM-100 series
持ち運び可能なハンディタイプの膜厚測定装置！絶縁膜の膜厚測定に
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【包装業界向け】膜厚測定装置 SM-100 series
包装材のバリア性を左右する膜厚を、非破壊で手軽に測定！
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【食品品質管理向け】スマート膜厚計 SM-100 series
食品の品質管理に！ハンディタイプの膜厚測定装置で、非破壊測定を実現。
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