半導体評価機器

大塚電子の半導体評価装置は、半導体材料やデバイスの特性評価に特化した高性能な分析機器を提供しています。主な装置には、ウエハや基板の物理パラメータを非破壊・非接触で短時間に測定可能な装置があります。これらの装置は、半導体ウエハの厚みなどの重要なパラメータを高精度・自動で測定でき、研究開発や生産工程、品質管理に広く導入されています。また、独自の測定技術により、表面汚染や膜厚非均一性の解析も可能であり、SiCやGaNなど次世代パワー半導体材料評価にも対応し、半導体産業の多様なニーズに応えています。測定技術や装置開発、ユーザーサポートにおける豊富な実績が大塚電子の特長です。