分光干渉式ウェーハ膜厚計『SF-3』

各種ウェーハの厚み測定や、各種研削・研磨・貼り合わせなどへのプロセスへの組み込みに！　

最終更新日 2025年07月04日

ラインスキャン膜厚計『オフライン（ウェーハ対応タイプ）』

ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現！

最終更新日 2025年07月04日

膜厚測定装置　スマート膜厚計『SM-100 series』

持ち運び可能なハンディタイプの膜厚測定装置！サンプルを傷つけることもなく測定可能

最終更新日 2025年07月03日

膜厚計　顕微分光膜厚計 『OPTM series』

1ポイント1秒測定＆測定エリア最小3μｍ！高性能で使いやすい顕微分光 膜厚計

最終更新日 2025年07月03日

マルチチャンネル分光器『MCPD-9800』

広ダイナミックレンジ！高速・高再現性、軽量・コンパクトが特長的　

最終更新日 2025年07月04日

ロードポート対応膜厚測定システム『GS-300』

半導体工場の膜厚ニーズに合わせたインテグレーションが可能！

最終更新日 2025年07月04日