膜厚計・厚み計
膜厚計・厚み計
膜厚計・厚み計は、測定対象に光を照射し、反射光を測定することにより、膜厚測定を行うことができます。光学式のため非接触で瞬時に膜厚測定が可能です。多層膜の測定ができる、高精度などメリットの多い方式です。研究開発から品質管理、全数検査まで対応なラインナップを取り揃えております。
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その場で測れる!ハンディタイプの高精度 膜厚計
約1.1kgの持ち運べる膜厚計。最薄0.1μmから最大100μmまで、検量線不要で操作簡単 <デモ機を無料貸し出し中>
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顕微分光膜厚計 OPTM series
1ポイント1秒測定&測定エリア最小3μm!高性能で使いやすい顕微分光膜厚計
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分光干渉式ウェーハ膜厚計 SF-3
各種ウェーハの厚み測定や、各種研削・研磨・貼り合わせなどへのプロセスへの組み込みに!
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ラインスキャン膜厚計 インラインタイプ
ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現!
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ラインスキャン膜厚計 オフラインタイプ
全面を高速かつ高精度に膜厚測定可能!
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ラインスキャン膜厚計 オフライン(ウェーハ対応タイプ)
ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面検査を実現!
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マルチチャンネル分光器 MCPD series
広ダイナミックレンジ!高速・高再現性、軽量・コンパクトが特長的
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ロードポート対応膜厚測定システム GS-300
半導体工場の膜厚ニーズに合わせたインテグレーションが可能!
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顕微分光膜厚計 傾斜モデルを用いたITOの構造解析
傾斜モデルを用いたITOの構造解析
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【半導体向け】顕微分光膜厚計 OPTM series
1ポイント1秒測定!半導体製造における膜厚測定を革新。
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【光学部品向け】顕微分光膜厚計 OPTM series
コーティング膜厚測定を1秒で!光学部品の品質管理に貢献
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【材料科学向け】顕微分光膜厚計 OPTM series
1ポイント1秒測定!材料の特性評価を加速する顕微分光膜厚計
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【電子部品向け】顕微分光膜厚計 OPTM series
1ポイント1秒測定!電子部品の品質管理を加速
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【エネルギー分野向け】顕微分光膜厚計 OPTM series
薄膜の膜厚測定を1秒で!エネルギー分野の品質管理に貢献
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【包装業界向け】顕微分光膜厚計 OPTM series
包装材のバリア性評価に!1秒測定&最小3μm測定
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【半導体向け】ラインスキャン膜厚計
ウェーハ基板上の薄膜を「抜け」なく全面測定!
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【ディスプレイ向け】ラインスキャン膜厚計
ラインスキャン方式でディスプレイの膜厚を均一に測定!
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【フィルム業界向け】ラインスキャン膜厚計
ラインスキャン方式でフィルムの膜厚を均一に測定
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【コーティング膜向け】ラインスキャン膜厚計
ラインスキャン方式で、コーティング膜厚を逃さず検査。
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