膜厚計・厚み計

膜厚計・厚み計
膜厚計・厚み計は、測定対象に光を照射し、反射光を測定することにより、膜厚測定を行うことができます。光学式のため非接触で瞬時に膜厚測定が可能です。多層膜の測定ができる、高精度などメリットの多い方式です。研究開発から品質管理、全数検査まで対応なラインナップを取り揃えております。
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その場で測れる!ハンディタイプの高精度 膜厚計
約1.1kgの持ち運べる膜厚計。最薄0.1μmから最大100μmまで、検量線不要で操作簡単 <デモ機を無料貸し出し中>
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顕微分光膜厚計 OPTM series
1ポイント1秒測定&測定エリア最小3μm!高性能で使いやすい顕微分光 膜厚計
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分光干渉式ウェーハ膜厚計 SF-3
各種ウェーハの厚み測定や、各種研削・研磨・貼り合わせなどへのプロセスへの組み込みに!
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ラインスキャン膜厚計 インラインタイプ
ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現!
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ラインスキャン膜厚計 オフラインタイプ
全面を高速かつ高精度に測定可能!膜厚測定の専門メーカーだからできる充実サポート
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ラインスキャン膜厚計 オフライン(ウェーハ対応タイプ)
ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現!
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マルチチャンネル分光器 MCPD-9800
広ダイナミックレンジ!高速・高再現性、軽量・コンパクトが特長的
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ロードポート対応膜厚測定システム GS-300
半導体工場の膜厚ニーズに合わせたインテグレーションが可能!
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