【ディスプレイ向け】ラインスキャン膜厚計
ラインスキャン方式でディスプレイの膜厚を均一に測定！
ディスプレイ業界では、製品の品質を左右する薄膜の均一性が重要です。特に、色ムラや輝度ムラを防ぐためには、薄膜の膜厚を正確に測定し、均一性を確保する必要があります。不均一な膜厚は、表示品質の低下につながる可能性があります。当社のラインスキャン膜厚計は、ラインスキャン方式を採用し、ウェーハ基板上の薄膜を全面測定することで、膜厚の均一性を評価できます。 【活用シーン】 ・ディスプレイ製造における薄膜の膜厚測定 ・色ムラ、輝度ムラの改善 ・品質管理 【導入の効果】 ・膜厚の均一性評価による品質向上 ・不良品の削減 ・製造プロセスの最適化
基本情報
【特長】 ・ラインスキャン方式による全面検査 ・12inchウェーハの面内分布を高速測定 ・膜厚範囲：0.1～300 μm ・測定幅：最大300 mm ・高精度膜厚演算処理技術 【当社の強み】 大塚電子は、独自の｢光｣技術を用いて、画期的な製品を提供しています。創業以来培ってきた要素技術を融合させ、お客様の課題解決に貢献します。
価格帯
納期
型番・ブランド名
LS series
用途／実績例
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大塚電子は、独自の｢光｣技術を用いて、大塚電子にしか出来ない画期的な新製品を作り出しています。 創業以来積み上げてきた要素技術を融合させながら、医用機器、分析機器、分光計測機器という3つの事業を展開しています。 【医用機器】 親会社である大塚製薬をはじめ、試薬メーカーなどと連携した、臨床検査機器、医療機器の開発・生産を主体とする事業を展開。最新テクノロジーを集結し、人々の健康に貢献しています。 【分析機器】 新素材解析のコアテクノロジーである光散乱の技術を、ナノテクノロジー領域の物性測定に応用。粒子径、ゼータ電位、分子量の測定法を基準に、新素材、バイオサイエンス、高分子化学、さらには半導体や医薬分野などへの展開を図ります。 【分光計測機器】 分光計測技術の代名詞であるマルチチャンネル分光器と、長年にわたって培ってきた解析技術の蓄積による製品群を生み出しています。多様化するニーズに応えながら、幅広い分野へと拡大し続けています。