インプロセス用評価機器
インプロセス用評価機器
インプロセス用評価機器
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ラインスキャン膜厚計『インラインタイプ』
ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現!
最終更新日
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インラインフィルム評価システム『MCPD Series』
インラインフィルム評価システムは、光学式のため非接触・非破壊での膜厚、濃度、色などの検査が可能
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インライン膜厚評価システム『MCPD Series』
インライン膜厚評価システムは、光学式のため非接触・非破壊膜厚で膜厚測定が可能
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インライン反射率評価システム『MCPD Series』
インラインフィルム評価システムは、光学式のため非接触・非破壊での透過率、吸光度、色などの検査が可能
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インライン透過率評価システム『MCPD Series』
インラインフィルム評価システムは、光学式のため非接触・非破壊での透過率、吸光度、色などの検査が可能
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分光干渉式ウェーハ膜厚計『SF-3』
各種ウェーハの厚み測定や、各種研削・研磨・貼り合わせなどへのプロセスへの組み込みに!
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マルチチャンネル分光器『MCPD-9800』
広ダイナミックレンジ!高速・高再現性、軽量・コンパクトが特長的
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高速LED光学特性モニター『LE Series』
光ファイバーにより自由な測定系が可能!LED生産工程での光学特性を高速で評価します
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ロードポート対応膜厚測定システム『GS-300』
半導体工場の膜厚ニーズに合わせたインテグレーションが可能!
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リタデーション測定装置『RETS-100nx』
独自の分光器だからできる高精度測定!かんたんソフトウェアで操作性大幅UP
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