フィルム評価機器
フィルム評価機器
フィルム評価機器は、フィルムに光を照射し、透過・反射を測定することにより、膜厚・透過率・反射率・色・偏光情報・複屈折位相差・透明体の三次元観察などを行うことができます。研究開発から品質管理、全数検査まで対応可能です。
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光波動場三次元顕微鏡 MINUK
nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能！フォーカス不要で高速測定 目視では見えないフィルム表面を可視化・定量化
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顕微分光膜厚計 OPTM series
1ポイント1秒測定＆測定エリア最小3μｍ！高性能で使いやすい顕微分光 膜厚計
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ラインスキャン膜厚計 インラインタイプ
ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現！
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リタデーション測定装置 RETS-100nx
独自の分光器だからできる高精度測定！かんたんソフトウェアで操作性大幅UP
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ラインスキャン膜厚計 オフライン（ウェーハ対応タイプ）
ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現！
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