光波動場三次元顕微鏡『MINUK』

nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能！フォーカス不要で高速測定　目視では見えないフィルム表面を可視化・定量化

最終更新日 2025年03月07日

膜厚測定装置　顕微分光膜厚計 『OPTM series』

1ポイント1秒測定＆測定エリア最小3μｍ！高性能で使いやすい顕微分光膜厚計

最終更新日 2025年05月02日

ラインスキャン膜厚計【インラインタイプ】

ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現！

最終更新日 2025年03月27日

リタデーション測定装置『RETS-100nx』

独自の分光器だからできる高精度測定！かんたんソフトウェアで操作性大幅UP

最終更新日 2025年03月18日

ラインスキャン膜厚計【オフライン（ウェーハ対応タイプ）】

ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現！

最終更新日 2025年04月03日