顕微分光膜厚計 OPTM series
1ポイント1秒測定＆測定エリア最小3μｍ！高性能で使いやすい顕微分光膜厚計
顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚測定と光学定数解析が可能な装置です。 各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。 測定時間は1秒/pointの高速測定が可能で初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。 膜厚計のお悩みを「OPTMシリーズ」1台で完全解決します！ 【特長】 ■膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約 ■顕微分光で高精度な絶対反射率測定（多層膜厚、光学定数） ■1ポイント1秒以内の高速測定 ■顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系（紫外～近赤外） ■エリアセンサーによる安全機構 ■初めての方でも光学定数解析が可能な楽々解析ウイザード ■測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載 ■複雑な光学定数も解析可能（複数点解析法） ■300mmステージ対応可能 ■各種カスタマイズに対応 など
基本情報
※詳しくはＰＤＦ資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
型番・ブランド名
OPTM series
用途／実績例
※詳しくはＰＤＦ資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（3）
カタログをまとめてダウンロード
この製品に関するニュース（3）
-
【2026年12月9日(水)～11日(金)】「SEMICON Japan」出展のお知らせ
当社は、東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan」に出展いたします。 半導体製造プロセスからアプリケーションまでを網羅し、先進技術を体験できます。 大塚電子では、ラインスキャンのモックアップ、スマート膜厚計などを展示予定。 ぜひ当社ブースにて実機をお近くでご覧ください。 皆様のご来場をお待ちしております。
-
【2026年9月30日(水)～10月2日(金)】「高機能フィルム開発・製造展」出展のお知らせ
大塚電子株式会社は、幕張メッセにて開催される 「高機能フィルム開発・製造展」に出展いたします。 当社ブースでは新製品「光波動場三次元顕微鏡 MINUK」をはじめ、 「ラインスキャン膜厚計」などフィルム関連のインライン検査装置、 研究開発用膜厚計、リタデーション測定装置の実機展示をいたします。 今年は「透明体の傷や異物を可視化・定量化できる事例」や 「抜けのない全面フィルム検査事例」などラボ評価から生産管理まで使える 具体的な資料を取り揃えて、皆様のご来場をお待ちしております。
-
JASIS2026へ出展します
2026年9月2日（水）から4日（金）まで、幕張メッセで「JASIS 2026」が開催されます。 大塚電子ではゼータ電位・粒子径・分子量測定システム ELSZneo、光波動場三次元顕微鏡 MINUK等の弊社製品を展示します。 ぜひ弊社ブースにて実機をお近くでご覧ください。 皆様のご来場をお待ちしております。
おすすめ製品
取り扱い会社
大塚電子は、独自の｢光｣技術を用いて、大塚電子にしか出来ない画期的な新製品を作り出しています。 創業以来積み上げてきた要素技術を融合させながら、医用機器、分析機器、分光計測機器という3つの事業を展開しています。 【医用機器】 親会社である大塚製薬をはじめ、試薬メーカーなどと連携した、臨床検査機器、医療機器の開発・生産を主体とする事業を展開。最新テクノロジーを集結し、人々の健康に貢献しています。 【分析機器】 新素材解析のコアテクノロジーである光散乱の技術を、ナノテクノロジー領域の物性測定に応用。粒子径、ゼータ電位、分子量の測定法を基準に、新素材、バイオサイエンス、高分子化学、さらには半導体や医薬分野などへの展開を図ります。 【分光計測機器】 分光計測技術の代名詞であるマルチチャンネル分光器と、長年にわたって培ってきた解析技術の蓄積による製品群を生み出しています。多様化するニーズに応えながら、幅広い分野へと拡大し続けています。