膜厚・厚み測定装置

膜厚・厚み測定装置
膜厚・厚み測定装置
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膜厚測定装置 顕微分光膜厚計 『OPTM series』
これまでの膜厚測定のお悩みをこれ1台で解決。1ポイント1秒測定&測定エリア最小3μm!高性能でとにかく使いやすい顕微分光膜厚計
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マルチチャンネル分光器『MCPD-9800』
広ダイナミックレンジ!高速・高再現性、軽量・コンパクトが特長的
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分光干渉式ウェーハ膜厚計『SF-3』
各種ウェーハの厚み測定や、各種研削・研磨・貼り合わせなどへのプロセスへの組み込みに!
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ラインスキャン膜厚計【オフライン】
全面を高速かつ高精度に測定可能!膜厚測定の専門メーカーだからできる充実サポート
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ラインスキャン膜厚計【インラインタイプ】
ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現!
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ラインスキャン膜厚計【オフライン(ウェーハ対応タイプ)】
ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現!
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