モジュール式ピエゾコントロールシステム E-500/E-501
使用軸数や対応センサー、動作仕様に合わせて柔軟な構築が可能
E-500/E-501は、1～3チャネル構成のピエゾシステムに対応するカスタム設計可能なコントローラです。 高電圧アンプ（最大1100V）や、多チャネル対応の静電容量・SGSセンサー制御モジュールを選択可能で、幅広いPI製品と互換性があります。 各種モジュールを組み合わせて構成され、制御精度・応答性を高めると同時に、装置組込みの柔軟性も確保。
基本情報
・最大3 軸、カスタマイズにより12 軸以上可能 ・低電圧（～ 135V）および高電圧(～ 1100V)用のアンプモジュールを選択可能（ピーク出力14 ～ 400W） ・SGS および静電容量センサー用の位置サーボ制御モジュールを選択可能（1 ～ 3 チャネル） ・PC インターフェイス／ディスプレイモジュールを選択可能 ・高電圧および低電圧ピエゾシステムに対応 ・19 および9 1/2 インチシャーシをご用意 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい
価格帯
納期
用途／実績例
・ナノポジショニングステージの高精度多軸制御 ・ピエゾアクチュエータを用いた光学素子アライメント ・干渉計・AFMでのZ軸ピエゾ制御 ・バイオ計測や顕微鏡システムの精密移動制御 ・半導体検査装置への組込み制御システム ・真空環境での非接触ピエゾモーション制御 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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