最大推力・600N 精密位置決めリニアアクチュエータ N-216
最大800Nの保持力と5nm分解能、ナノ位置決めに革新を
N-216は、最大800Nの保持力と0.03nm（オープンループ）／5nm（クローズドループ）の分解能を備えたピエゾステッピングアクチュエータです。 独自のPiezoWalk(R)技術により、フルステップモードとナノステッピングモードを切り替えながら、高速かつナノ精度の位置決めが可能。 非磁性・クリーン・真空環境に対応し、半導体製造、ウェハ検査、ナノリソグラフィなど、微細制御を要求されるアプリケーションに最適です。
基本情報
・ストローク:20mm ・分解能：0.03nm（オープンループ） ・5nm（クローズドループ） ・保持力最大 800N ・静止時に自動ロック ・非磁性および真空対応の動作原理 ・クリーンルーム対応 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
型番・ブランド名
NEXLINE(R) リニアアクチュエータ N-216
用途／実績例
・半導体製造 ・半導体の試験 ・ウェハー検査 ・ナノリソグラフィ ・ナノインプリント ・ナノ計測 ・アクティブ振動ダンピング ・強磁場での動作 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。