株式会社三明 公式サイト

MEMSデバイスの研究開発から少ロット・多品種、量産まで対応可能な露光装置/マスクアライナーをラインアップ！

【取り扱い製品】 　★手動型 露光装置 　　・コンパクトな微細片面露光のスタンダード機　LAシリーズ 　　・両面プロセスのローコストアシストモデル　BAシリーズ 　　・両面同時露光のマスクアライナー　BSシリーズ 　★半自動型 露光装置 　　・セミオートマスクアライナー 　★全自動型 露光装置 　　・フルオートマスクアライナー 　＊その他、自動化・量産化のカスタム対応 露光装置

4inと8inサイズをご用意！アライメント露光が可能な多品種量産用半自動露光装置！

【その他の仕様】 ■露光光源：照度分布±5％以内 ■露光解像度 　・ソフトコンタクトL/S 3μm 　・ハードコンタクトL/S 1μm ■アライメント精度 　・Top-side ±2μm 　・Bottom-side ±5μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

露光光源照度分布は±5％以内！デスクトップ型と自立型のモデルをラインアップ

【その他の仕様】 ■アライメント精度 　・Top-side：±2μm 　・Bottom-side：±5μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

サイズは4inと8inをご用意！〇型□型試料に対応した高い汎用性を有しております

【仕様】 ■露光光源：照度分布±5％以内 ■露光解像度 ・ソフトコンタクトL/S 3μm ・ハードコンタクトL/S 1μm ■アライメント精度 ・Top-side ±1μm ・Bottom-side ±3μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

従来困難だった不定形物や透明物の把持位置を検出しピッキング。 シミュレータとディープラーニングを活用してAIを短期間で開発

詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

AIを活用することで、しきい値判定では難しい機械の予兆検知・予測が可能。異音・振動検知による製造品質・生産性の向上に貢献します

詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

産業用ロボット・人協働ロボットの選択ができ、双腕ロボットによる全面検査も可能 大型ワークや重量物ワークにも自動化対応いたします

【標準カメラ】マルチプルイメージャー（2K/モノクロ） 　・キズの検出 　・省スペース 　・低コスト 1台のカメラで ・複数の欠陥を同時に検出 ・最適な角度で的確に撮像 ・最大8つの照明条件までOK 搭載台数：2台 カメラ：モノクロエリアカメラ 　　　　撮像素子サイズ：1"CMOS 　　　　有効画素数：2048×2048 レンズ：単焦点レンズ 　　　　焦点距離：26mm 欠品やワーク形状に合わせて最適なカメラを選定いたします

ステッピングモーターにエンコーダを取り付けサーボモーター並みの精度に引き上げたステッピングサーボです。 上位不要で単体動作可能

【その他の特長】 ■最適な電流指令により低発熱 ■カスタマイズ対応 ■新しいシリアル通信機能（RS485） ■時短オートチューニング ■3種類の指令方式に対応（パルス列、外部I/O、RS485通信） ■高速フィールドバス対応（MECHATROLONK-3、EtherCat） ＊ーーー　無料貸し出しあり　ーーー＊ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

シーンに応じて認識・動作・把持を自律的に判断し制御 独自技術を多数搭載した3Dロボットピッキングです ＊パレタイズも可能

【ワーク】 成型品/金型/ステンレス/樹脂/プラスチック/機械部品/加工部品/ボルト/バルブ/板金プレス部品/自動車部品 　リングギア・円筒部品・自動車用ダイカスト品・ハブベアリング・バルブガイド・プーリ 　ナックル・コンロッド・モーターシャフト・クランクシャフト・ロッカーアームなど

ラック内を3次元移動するロボットを利用してパレットの高密度保管を実現 独自の郡制御アルゴリズムで一括制御された保管システムです

【システム構成】 １パレットシャトル ２昇降リフター ３ラック ４コンベヤ ５充電ステーション ６WEBユーザーインタフェース

非接触で安全、メンテナンスフリーなワイヤレス給電システムです このシステムを取り付けることで工場の24時間連続稼働が実現します

詳しくはお問い合わせください。

走行精度が高く、狭い通路でも利用可能なQRグリッド式AGVです。 複数台対応で搬送能力を最大化【800kg、1000kg可搬】

弊社、株式会社三明は静岡市に本社を構えるFA技術商社です。

AMRで搬送自動化・省力化・生産性向上を実現 前後工程（パレタイズ・デパレタイズ・検査・画像処理・3Dピッキング）などもご提案

外観寸法（L×W×Hmm）：1000×1000×300 本体質量（kg）：435 リフタ高さ(mm)：100 最大積載/牽引質量(kg)：積載1000 誘導方式：ガイドレス 走行方向：全方位（前後、左右、斜め、回転） 最高速度　並進(m/分)：60 　　　　　回転(度/秒)：35 繰り返し停止精度(mm)：±10 カメラ位置決め精度(mm)：±20以下 最大走行エリア：50m×50m（地図連結により拡張可能：最大10枚） 連続走行距離(m)：5400 充電方式(H)：2 教示方式：タブレットの地図上に入力、ティーチングプレイバック、自動経路生成 マップ作成：付属地図ソフトによる作成　または2次元CAD(DXF)データファイルのインポート 操作インターフェース：タブレット、コントロールペンダント、本体タッチパネル 安全装置：非常停止スイッチ、バンパ、セーフティ・レーザスキャナー：報知器、方向表示機

オムニホイールによる四輪駆動の全方位移動型AMR『AiTran Lift』 ワイヤレス給電システムで24時間無人搬送が可能

外観寸法（L×W×Hmm）：1000×1000×300 本体質量（kg）：435 リフタ高さ(mm)：100 最大積載/牽引質量(kg)：積載1000 誘導方式：ガイドレス 走行方向：全方位（前後、左右、斜め、回転） 最高速度　並進(m/分)：60 　　　　　回転(度/秒)：35 繰り返し停止精度(mm)：±10 カメラ位置決め精度(mm)：±20以下 最大走行エリア：50m×50m（地図連結により拡張可能：最大10枚） 連続走行距離(m)：5400 充電方式(H)：2 教示方式：タブレットの地図上に入力、ティーチングプレイバック、自動経路生成 マップ作成：付属地図ソフトによる作成　または2次元CAD(DXF)データファイルのインポート 操作インターフェース：タブレット、コントロールペンダント、本体タッチパネル 安全装置：非常停止スイッチ、バンパ、セーフティ・レーザスキャナー：報知器、方向表示機

カメラによる精密位置決めで正確に自動で牽引台車を連結 円弧走行命令で狭路や袋小路の搬送も可能 前後工程の構築も行います

外観寸法（L×W×Hmm）：1000×1190×434 本体質量（kg）：485 牽引質量(kg)：1000 誘導方式：ガイドレス 走行方向：全方位（前後、左右、斜め、回転） 最高速度　並進(m/分)：60 　　　　　回転(度/秒)：35 繰り返し停止精度(mm)：±10 カメラ位置決め精度(mm)：±20以下 最大走行エリア：50m×50m（地図連結により拡張可能：最大10枚） 連続走行距離(m)：5400 充電方式(H)：2 教示方式：タブレットの地図上に入力、ティーチングプレイバック、自動経路生成 マップ作成：付属地図ソフトによる作成　または2次元CAD(DXF)データファイルのインポート 操作インターフェース：タブレット、コントロールペンダント、本体タッチパネル 安全装置：非常停止スイッチ、バンパ、セーフティ・レーザスキャナー：報知器、方向表示機

オムニホイールによる四輪駆動の全方位移動型AMR『AiTran400』 ワイヤレス給電システムで24時間無人搬送可能

制御軸数：走行4軸同時独立駆動 駆動方式：ACサーボモーター（絶対値エンコーダ） 制御方式：速度制御 可搬質量：400kg 駆動容量：1600W 走行方式：全方向移動 『走行能力』 　最大並進速度：80m/min（無積載） 　　　　　　　　60m/min（最大積載） 　最大回転速度：50deg/sec（無積載） 　　　　　　　　35deg/sec（最大積載） 　最小回転半径：その場旋回可能 　最小通路幅：1000mm（前後動作） 　　　　　　　1200mm（左右動作） 　　　　　　　1350ｍｍ（旋回） 　最大走行距離（満充電）：2300m（参考値） 　最大走行エリア：50m×50m、または自立搬送台車と無線LAN通信可能な範囲のいずれか狭いエリア 『昇降能力』 　天板水平面寸法：500×700mm 　昇降ストローク・最大昇降速度：昇降機構オプション対応 停止精度（自動運転時）：±100mm、±2deg（レーザスキャナ自己位置同定機能を適用時） 教示方式：タブレットの地図上に入力　ティーチングプレイバック自動経路生成

オムニホイールによる四輪駆動の全方位移動型AMR『AiTran700』 ワイヤレス給電システムで24時間無人搬送可能

制御軸数：走行4軸同時独立駆動、昇降1軸駆動 駆動方式：ACサーボモーター（絶対値エンコーダ） 制御方式：速度制御（走行）、昇降（位置制御） 可搬質量：700kg 駆動容量：2000W 走行方式：全方向移動 『走行能力』 　最大並進速度：40m/min（～700kg積載） 　　　　　　　　24m/min（最大積載） 　最大回転速度：35deg/sec（～700kg積載） 　　　　　　　　18deg/sec（最大積載） 　最小回転半径：その場旋回可能 　最小通路幅：1530mm（前後動作） 　　　　　　　1780mm（左右動作） 　　　　　　　2100ｍｍ（旋回） 　最大走行距離（満充電）：2600m（参考値） 　最大走行エリア：50m×50m、または自立搬送台車と無線LAN通信可能な範囲のいずれか狭いエリア 『昇降能力』 　天板水平面寸法：780×1110mm 　昇降ストローク：100mm 　最大昇降速度：16.7mm/sec 停止精度（自動運転時）：±100mm、±2deg（レーザスキャナ自己位置同定機能を適用時）

オムニホイールによる四輪駆動の全方位移動型AMR『AiTran1000』 ワイヤレス給電システムで24時間無人搬送可能

制御軸数：走行4軸同時独立駆動、昇降1軸駆動 駆動方式：ACサーボモーター（絶対値エンコーダ） 制御方式：速度制御（走行）、昇降（位置制御） 可搬質量：1000kg 駆動容量：2000W 走行方式：全方向移動 『走行能力』 　最大並進速度：40m/min（～1000kg積載） 　　　　　　　　24m/min（最大積載） 　最大回転速度：35deg/sec（1000kg積載） 　　　　　　　　18deg/sec（最大積載） 　最小回転半径：その場旋回可能 　最小通路幅：1530mm（前後動作） 　　　　　　　1780mm（左右動作） 　　　　　　　2100ｍｍ（旋回） 　最大走行距離（満充電）：2000m（参考値） 　最大走行エリア：50m×50m、または自立搬送台車と無線LAN通信可能な範囲のいずれか狭いエリア 『昇降能力』 　天板水平面寸法：780×1110mm 　昇降ストローク：100mm 　最大昇降速度：10mm/sec 停止精度（自動運転時）：±100mm、±2deg（レーザスキャナ自己位置同定機能を適用時）

物流倉庫や工場での部品/完成品搬送やピッキング、レストランでの配膳/下膳など、様々な現場のDXに対応可能なSLAM式AMRです

【活用シーン】 ・製造工場/工程間搬送 　GPIOポートの活用でKeiganALIと上部アタッチメントの連携が可能 　リフターとKeiganALIの動作連携によりコンテナの受け取りと棚への格納を自動化 ・物流倉庫/ピッキング作業、工程間搬送 　用途に合わせてカスタマイズしたピッキングカートの使用によりピッキング作業や 搬送を効率化 ・製造ライン/ロボットとの協働作業 　APIを公開しているため様々な装置やシステムとの連携が可能 ・レストラン/配膳 　免振対応を取り入れたワゴンの使用により食品や汁物の搬送も可能 ・卸小売り/在庫管理 　上部アタッチメントとしてRFIDリーダーを取り付けることで倉庫内の荷物の在庫管理を自働化 ・施設/見回り　など 上部アタッチメントとしてカメラや警報器を取り付けることで、施設内の見回りロボットとして活用可能

各軸モータ、エンコーダ、減速機、コントローラ内冷却ファン、プログラミングペンダント、停止機能を点検！

【ロボット点検】 ■点検箇所：各軸モータ、エンコーダ、減速機、コントローラ内冷却ファン、プログラミングペンダント、停止機能 ■点検内容：MOTOMAN総稼働時間(制御電源投入時間、サーボ電源投入時間、プレイバック時間)トルク・速度フィードバック波形測定、 　各軸ガタ、異音確認、増し締め、アラーム履歴の情報確認、冷却ファン確認、ロボットデータセーブ、バッテリー電圧など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

運ぶだけじゃない、複雑な仕事もこなす！1台で複数台分働く

【性能】 ■最大60m/分の速度でロボットが走行 ■最大積載量50kg ロボット可搬重量10kg ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

狭い通路でも利用可能なQRグリッド式AGV　　ピッキングやパレタイズなどの前後工程構築も可能です【800kg、1000kg可搬】

弊社、株式会社三明は静岡市に本社を構えるFA技術商社です。 【800kg可搬・1000kg可搬】 外寸　L×W×H(mm)：950×680×247・1174×850×252 機体重量(kg)：135・235 誘導方法：QRコード/慣性誘導 リフト高さ(mm)：56 最大積載重量(kg)：800・1000 最高速度（搬送物無しm/s）2.1・2.3 最高速度（搬送物ありm/s）1.5・1.2 停止制度（mm）±10（位置補正後） 稼働時間（h）：満充電より6～8 塗装色：オレンジ 安全関係：レーザーセンサー 　　　　　バンパースイッチ（前方/800kg可搬のみ後方（オプション）） 　　　　　音声アラーム（日本語：標準） 　　　　　非常停止ボタン（前方/後方、プッシュロック・ターンリセット）

疑似的な不良画像を生成することで少量の不良品（データ）から外観検査AIを生成。 外見検査工程へのAI活用を加速させます

詳しくはご相談ください。

ステッピングモーターにエンコーダを取り付けサーボモーター並みの精度に引き上げたステッピングサーボです。 検査機での使用実績多数

【その他の特長】 ■最適な電流指令により低発熱 ■カスタマイズ対応 ■新しいシリアル通信機能（RS485） ■時短オートチューニング ■3種類の指令方式に対応（パルス列、外部I/O、RS485通信） ■高速フィールドバス対応（MECHATROLONK-3、EtherCat） ＊ーーー　無料貸し出しあり　ーーー＊ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【サンプルテスト実施中】安全柵・安全操作教育不要！小型軽量設計で作業台やデスクに設置可能！初期設定も簡単なバリ取り仕上げシステム

【仕様】 ■寸法：Φ45×240L ■駆動方法：インバータ駆動 ■重量：1500g ■押付け力調整方法：ばね交換（3種類） ■許容回転数：15,000rpm ■伸縮量：10mm ■シャンクサイズ：Φ20×40L ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。

2相ステッピングモータにインクリメンタルエンコーダを取り付けサーボモーター並みの精度に引き上げた「ステッピングサーボ」です。

【その他の特長】 ■最適な電流指令により低発熱 ■カスタマイズ対応 ■新しいシリアル通信機能（RS485） ■時短オートチューニング ■3種類の指令方式に対応（パルス列、外部I/O、RS485通信） ■高速フィールドバス対応（MECHATROLONK-3、EtherCat） ◇定格出力トルク（N･m）◇ 0.06　0.15　0.18　0.31　0.45　0.48　0.49　1.2　1.39 ◇最大出力トルク（N･m）◇ 0.11　0.28　0.34　0.49　0.74　0.9　0.86　1.8　2.3 ◇最高回転速度（min⁻¹）◇ 4500　4500　6000　3000　2000　2500　2000　2000　2000　 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

2相ステッピングモーターにインクリメンタルエンコーダを取り付けサーボモーター並みの精度に引き上げた超小型ステッピングサーボです

【その他の特長】 ■最適な電流指令により低発熱 ■カスタマイズ対応 ■新しいシリアル通信機能（RS485） ■時短オートチューニング ■3種類の指令方式に対応（パルス列、外部I/O、RS485通信） ■高速フィールドバス対応（メカトロリンク3、イーサーキャット） ■高分解能で超精密な動作が可能 ■上位レスで機械設計も簡単 ◇定格出力トルク（N･m）◇ 0.06　0.15　0.18　0.31　0.45　0.48　0.49　1.2　1.39 ◇最大出力トルク（N･m）◇ 0.11　0.28　0.34　0.49　0.74　0.9　0.86　1.8　2.3 ◇最高回転速度（min⁻¹）◇ 4500　4500　6000　3000　2000　2500　2000　2000　2000　 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

最高レベルの防塵防水性能を持つことを実証済 オイルミストが舞う加工現場や粉塵の舞う鍛造・鋳造の現場でも使用可能

【ワーク】 成型品/金型/ステンレス/樹脂/プラスチック/機械部品/加工部品/ボルト/バルブ/板金プレス部品/自動車部品 　リングギア・円筒部品・自動車用ダイカスト品・ハブベアリング・バルブガイド・プーリ 　ナックル・コンロッド・モーターシャフト・クランクシャフト・ロッカーアームなど

最適な経路計算により自動でロボットの最大速度性能を引き出しタクトタイム・サイクルタイムの短縮に貢献いたします

【ワーク】 成型品/金型/ステンレス/樹脂/プラスチック/機械部品/加工部品/ボルト/バルブ/板金プレス部品/自動車部品 　リングギア・円筒部品・自動車用ダイカスト品・ハブベアリング・バルブガイド・プーリ 　ナックル・コンロッド・モーターシャフト・クランクシャフト・ロッカーアームなど

ワイヤレス給電による24時間連続運転で工場内の自動化を進めませんか？磁気テープ不要のライダースラム方式マッピングでレイアウト変更

【活躍できる分野・業種】 ■物流分野〈荷物の入庫・出庫〉 ■組立分野〈ワーク整列配置・組立て作業〉 ■半導体分野〈ウェハのプロセス間搬送・クリーンカスタマイズ可能〉 ■ラボ・オートメーション〈科学実験・検査場の自動化〉など 【システムのご提案】 ■生産性を向上させるための運用システムを構築 ■生産管理と連携させたサーバーソフトを構築 ■安全管理に対するリスク・アセスメントを実施 お客様の工場のレイアウトやタクトタイム、ロボットが行う作業内容などに 合わせ、当製品の走行性能の検証、台数の設定、給電計画、生産管理 システムとの連携など、サーバーを活用した大規模なシステムから1台の 利活用など、お客様の御要望に応じたシステムをご提案。 安全管理に対するリスク・アセスメントを実施し、生産性を向上させるための 運用システム、生産管理と連携させたサーバーソフトを構築します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

上位との連携によりシステム拡張可能なパレタイズパッケージです。 AGV/AMRや通信連携・品種識別などの連携が可能です。

可搬重量：30kg（ハンド重量含む） システム能力：6サイクル分 設置面積：幅710mm×奥行1100mm 重量500kg 設置高さ：3000mm以上 電源：三相AC200V±10%、50/60Hz、15A エア：0.5Mpa、250Nl/min 保護構造：ロボットIP67、コントローラIP54 標準オプション ・安全機器（レーザースキャナ） ・荷取コンベヤ ・パレタイズ専用ソフトMOTOPAL ＊追加オプションとしてDX機能アプリケーションをご用意しております

12インチの大画面タッチパネル搭載で多品種ワークに対応・ハンド切り替え可能なパレタイズシステムです。

可搬重量：30kg（ハンド重量含む） システム能力：6サイクル分 設置面積：幅710mm×奥行1100mm 重量：500kg 設置高さ：3000mm以上 電源：三相AC200V±10%、50/60Hz、15A エア：0.5MPa、250NL/min 保護構造：ロボットIP67、コントローラIP54

パレタイズ専用ソフトとスマートペンダントで簡単操作可能 対話形式で積み付けパターンを簡単作成・新規パターンの作成が可能

可搬重量：30kg（ハンド重量含む） システム能力：6サイクル分 設置面積：幅710mm×奥行1100mm 重量500kg 設置高さ：3000mm以上　＊要相談 電源：三相AC200V±10%、50/60Hz、15A エア：0.5Mpa、250Nl/min 保護構造：ロボットIP67、コントローラIP54

スイッチで簡単に日常的な操作が可能 ロボットに不慣れな現場オペレーターの方にもお使いいただけるようわかりやすい操作・表示です

ロボット：HC30-PL ハンド：吸着タイプ 操作BOX：デジタルスイッチ 荷取コンベア：モーターローラータイプ 安全機器：レーザースキャナ 積み付けソフト：MOTOPAL オプション（有償）：安全柵、品種登録 登録品種数：10種類まで（納入時に1品種登録） 対応製品：段ボール箱 　　　　　サイズ　長250～620mm 　　　　　　　　　幅250～430mm 　　　　　　　　　高20～400mm 　　　　　重量　20kg以下

制御盤でお客様に喜びと感動して頂けるは三明電子産業だけ！

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

トップランナー制度に対応した油入変圧器です。コンパクト・低騒音・省エネルギー・耐震・安全性に考慮しています。

詳しくはお問い合わせください。

お客様が指定するAGV/AMRと既存の生産管理システムを結ぶ制御・運用システムの構築が可能　WESやWCSをご提案いたします

詳しくはお問い合わせください。

平常時はEV充電器/省スペース短時間工事/太陽光システム併設で環境配慮･エネルギー効率up 　公共施設・学校・介護施設・

詳しくはご連絡ください。

主変圧器と特高盤を一体化することで基礎面積70％低減！ 導入・運転費用、据付期間も大幅に削減するパッケージ型の受変電設備です

<仕様> 相数：三相 周波数：50/60Hz 電圧：77(66)/22(6.6)kV その他電圧クラスについては別途ご相談ください。 負荷時タップ切替器搭載の場合は別途ご相談ください。 容量：5～20MVA 全装輸送は10MVAまでとなります。その他容量は別途ご相談ください。 結線：デルタ/スター(NGR付)、スター/デルタ 特高盤：フィーダー盤、直流電源盤、NGR/継電器盤

『補助金対応』環境配慮ツールとしてEV充電器をローコストで導入可能。エネルギーマネージメントでランニングコストを最適化。

◆DQC120 プラグ数：2 規格：CHAdeMO　Ver.2.0.2（下位互換有） 充電ケーブル長：標準6m（指定範囲5m～15m） 規格出力：「DQC120」120kW（56.25kW×2）、450V、125A 「DQC180」180kw（90kW×2）、450V、200A ブースト出力：「DQC120」90kw/120kw（1口） 「DQC180」180kw（1口） 　＊オプションにより4プラグ対応可能 定格出力電圧：三相3線式AC400V（±15%）、50/60Hz 定格入力：「DQC120」180A、134kVA 「DQC180」289A、200kVA 使用場所：屋内外（IP45）、標高1000m以下 使用温度・湿度範囲：-20℃～40℃・30～90RH% 効率：94%以上 外形寸法：幅580mm×奥890mm×高さ1880mm 設置面積：0.41平方メートル 質量：「DQC120」495kg 「DQC180」535kg 接地：C種（直流出力回路は非接地） 冷却方法：強制空冷

全閉外扇・工場安全増防爆形電動機は運転中に火花やアーク、加熱などが生じないよう構造上・温度上昇に考慮を払って安全性を高めた電動機

【ラインナップ】 脚取付形　0.2~55kW フランジ取付形　0.2~7.5kW 【標準仕様】 準拠規格：保護方式 工場電気設備防爆指針(2006) 　　　　　寸法　JEM-1201 形状：脚取付形およびフランジ取付形 電圧：200/200/220V 周波数：50/60/60Hz 定格：連続 発火度：G3 耐熱クラス：B(180MJ以下)、F(180LJ以上) 温度上昇限度：巻線部 70K(B),90K(F) 　　　　　　　容器外面 G1:320K　G2:200K　G3:120K 軸受の種類：シールド玉軸受またはグリース交換型軸受 口出線：3.7kW以下3本リード　5.5kW以上6本リード（スターデルタ始動が可能） 塗装色：マンセル記号2.5PB5/2(屋内用)　マンセル記号N7(屋外用) ※スターデルタ始動などで電動機が停止中でも、電圧が印加されるような回路では長時間電動機を停止すると、巻線の絶縁劣化が進み焼損事故につながります。 このため一次側開閉器を回路し、電動機への通電を遮断できるような回路にしてください。

爆発性雰囲気内でのモータ使用による爆発を防止するため、厚生労働省が指定する規格を取得した防爆形電気機器を使用する必要があります

詳しくはご相談ください

ダイヘン独自の制御アルゴリズムで電気料金最小化/補助金対象で初期費用削減/業界最小クラスの設置面積で省スペース/

・目安充電時間（日産リーフ　0～80%）：30kW…約1.1時間、50kW…約0.6時間 ・充電ケーブル長：標準6m（指定範囲5m～15m） ・使用場所：屋内外（IP44）、標高1000m以下 ・外形寸法：幅690mm、奥行き410mm、高さ1620mm ・設置面積：0.28m² ・冷却方式：強制空冷 ・デザイン 業界最小クラスの設置面積により利用環境や用途に応じた場所への設置が可能。 全ての人が利用しやすい、機器の高さ・配置に配慮したユニバーサルデザイン設計。 ＜オプション機能＞ パスワード認証機能：企業関係者のみでの使用や日替わりでの利用者の変更など、利用者制限・変更処理が容易に可能 認証課金システム：スマートフォン等を用いた電子決済にも対応。

エンコーダ付き！厚生労働省指定の防爆型式検定代行機関の合格品！ ニデック防爆モータは豊富なバリエーションを準備しております。

【標準仕様】 準拠規格：保護方式 工場電気設備防爆指針(2006) 外被保護：全閉形または全閉外扇形(18.5kW以上は全閉・他力通風形) 保護方式：IP44 極数：4極 時間定格：連続 速度制御範囲：8.75～1750min-1(1:200) トルク特性：定トルク用 耐熱クラス：E,B,F（機種選定時にご照会ください） 温度上昇限度：巻線部 75K(E),80K(B),105K(F) 使用場所：屋内(屋外での対応はございません) 回転方向：連結側から見て反時計方向(両方向回転も可能) 連結方式：カップリング直結またはVベルト連結 塗装色：マンセル2.5PB5/2 爆発等級：2 発火度：G4 周囲条件：温度－10～＋40℃　湿度85％RH以下　標高1000ｍ以下 電源：インバータ入力電源200/208/220V(50Hz)、200/208/220/230V(60Hz)（380/400/415/440/460V 50/60Hz） 　　　モータ定格電圧 180V(60Hz)または360V(60Hz)

厚生労働省指定の防爆型式検定代行機関の合格品！ ニデック防爆モータは豊富なバリエーションを準備しております。

【標準仕様】 準拠規格：保護方式 工場電気設備防爆指針(2006) 外被保護：全閉外扇形(定トルク37kW以上は全閉・他力通風形) 保護方式：IP44 極数：4極 時間定格：連続 周波数範囲：3~60Hz トルク特性：定トルク用/逓減トルク用 耐熱クラス：E,F/E,B,F 温度上昇限度：巻線部 75K(E),105K(F)/75K(E),80K(B),105K(F) 使用場所：屋内(屋外にてご使用の場合はご指定ください) 回転方向：連結側から見て反時計方向(両方向回転も可能) 連結方式：カップリング直結またはVベルト連結 塗装色：マンセル2.5PB5/2 爆発等級：2 発火度：G4 周囲条件：温度－10～＋40℃　湿度85％RH以下　標高1000ｍ以下 電源：インバータ入力電源200/208/220V(50Hz)、200/208/220/230V(60Hz) 　　　モータ定格電圧 200V(60Hz)または400V(60Hz)

独自の防爆技術と豊富な経験を蓄積した耐圧防爆モータ　　 構造、特性ともに工場電気設備防爆指針に準拠しています

【ラインナップ】 脚取付形　0.2~55kW フランジ取付形　0.2~7.5kW 【標準仕様】 準拠規格：保護方式 工場電気設備防爆指針(2006) 　　　　　寸法　JEM-1400、1401 　　　　　特性　JEC2137 形状：脚取付形およびフランジ取付形 電圧：200/200/220V 周波数：50/60/60Hz 定格：連続 爆発等級：２ 発火度：G4 耐熱クラス：E,B,F(寸法表参照) 温度上昇限度：巻線部 75K(E),80K(B),105K(F) 　　　　　　　容器外面 表１による 軸受の種類：シールド玉軸受 ※225SJ、225MJ、225MFJの連結側はグリース交換型軸受を使用 口出線：3本リード ※225MFJの耐熱クラスF機種は6本リードでスターデルタ始動が可能 塗装色：マンセル記号2.5PB5/2(屋内用)　マンセル記号N7(屋外用) 【応用形】 応用形として以下のものを製作しています ●耐熱クラス：B ●電圧：200,220,350,380,400,440V ●防食形：1，2級 ●軸端特殊寸法 ●立(縦)軸形

耐熱クラスE,Bを合理的に取り入れた防爆形モータシリーズに制動機構を内蔵した耐圧防爆形クイックブレーキモータ

耐圧防爆モータ構造は以下内容を配慮しています ・通常用途に比べ、部品の肉厚をあげた強い構造 ・はめ合い部、接合部、軸貫通部等の隙間とその奥行きは爆発等級に応じた寸法、精度 ・容器を開くと防爆性能を失うため、専門者以外が分解できないよう、ボルトは一般のスパナ、ペンチ等でゆるまない錠締構造 ・爆発性ガスに触れる可能性がある容器表面の温度上昇はそれぞれの発火度に応じて決められた温度以下 準拠規格：保護方式 工場電気設備防爆指針(2006) 　　　　　特性　JEC2137 形状：脚取付形およびフランジ取付形 電圧：200/200/220V 周波数：50/60/60Hz 定格：40%ED(90LJ以下)、25%ED(100LJ以上) 爆発等級：２ 発火度：G4 耐熱クラス：E(112以下)　B(132SJ以上) 温度上昇限度：巻線部 75K(E),80K(B) 軸受の種類：シールド玉軸受 制動方式：交流励磁・ばね制動 制動トルク：150% 塗装色：マンセル記号2.5PB5/2 ※サージやノイズ等が発生すると考えられる場合はサージキラーやノイズフィルター等を設置の上ご使用ください

AGV/AMRの販売だけでなく、前後工程（パレタイズ・デパレタイズ・検査・画像処理・3Dピッキング）などをご提案いたします。

詳しくはお問い合わせください。

商社機能とメーカー機能を持つ提案・開発・設計・製作・販売まで行うワンストップメーカー（SIer、システムインテグレーター）です

◆代理店業務 　【　(株)安川電機、（株）ダイヘン、（株）mujin、（株）デクシス、アトラスコプコ（株）、シーメンス（株）】 ◆FA化のご提案 ◆MEMS事業 ◆自社製品の販売　など

研究開発から、少LOT多品種、量産まで対応する「手動・半自動・全自動」のローコストな露光装置/マスクアライナーをご提案！

【取り扱い製品】 　★手動型 露光装置 　　・コンパクトな微細露光のスタンダード機　LAシリーズ 　　・両面プロセスのローコストアシストモデル　BAシリーズ 　　・両面同時露光のマスクアライナー　BSシリーズ 　★半自動型 露光装置 　　・セミオートマスクアライナー 　★全自動型 露光装置 　　・フルオートマスクアライナー 　＊その他、自動化・量産化のカスタム対応 露光装置

立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応！水や低粘度液体から高粘度液体まで微細化

【その他の特長】 ■水や低粘度液体から高粘度液体まで微細化 ■超微粒子（低粘度液体なら5μm程度）から雨粒大までの噴射が1個のノズルで可能 ■低圧でも動作可能 　・チャンバー内の気流を制御 　・前垂れ・ボタ落ち無し ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ナノクラスの微細な変化も見逃さない！半自動で欠陥を判別して可視化することが可能

・ムラビューワー２ 【特長】 ■反射体は表面欠陥、透過体は表面内部裏面欠陥の検査が可能 ■人の裸眼では確認できないnano欠陥を広視野で可視化 ■ズーム機能搭載（４倍比） ■複合立体画像処理+欠陥抽出処理で欠陥だけが立体的に浮き上がる ■目視検査装置  ・ムラビューワー２A-SS 【特長】 ■人の裸眼では確認できない欠陥を可視化し、独自の特殊原理を使い 立体的に欠陥を浮き上げることで、精度よく欠陥検査を可能 ■特殊光学部を分離して自動搬送系に組み込める分離型構造 ■数値化処理を内蔵することで解析処理/完全自動化検査を実現 ■クリーンルーム対応 ■数値化検査装置 ・ムラビューワー２ TiL 【特長】 ■人の裸眼では確認できない欠陥を可視化し、ED原理を使って 　立体的に欠陥を浮き上げることで、精度よく欠陥検査を可能 ■ムラビューワー２シリーズと自動タイリング機構の組み合わせで、 　サンプルサイズからΦ300ｍｍまで観察視野拡大可能 ■広視野でnano欠陥の数値化マッピングが可能 ■数値化処理を内蔵することで解析処理/完全自動化検査を実現

シンプル構造で低価格を実現！GaNウェハ低ダメージエッチング装置をご紹介

【仕様】 ■型式：PEC-6 ■エッチング方式 　・Photo-Electro Chemical：光電気化学 ■適応ワーク：□10ｍｍ小片チップ、φ2～6インチ ■UVA光源：超高圧水銀灯315～400nm 15mW/sm2以上 ■UVC光源：プラズマ光源220～320nm 12mW/sm2以上 ■薬液供給：2ノズルエア圧縮方式エッチング液、リンス液 ■外形寸法：1470（H）×650（W）×750（D） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

各種アプリケーションにも対応！面倒な設計を解決し、そのまま簡単に手動操作できます

【UVWステージ 仕様】 ■ステージ：NAF3C-16P（ヒーハイスト精工株式会社） ■ステージ寸法：170×170mm ■ストローク 　・X,Y＝±3mm 　・θ＝±3° ■繰り返し位置決め精度 　・X軸：±0.12μm（測定値） 　・Y軸：±0.14μm（測定値） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

2～8インチウェハ対応！デバイス製作に必要な高精度アライメントを備えています！

【仕様】 ■型式：ImpFlex-Essential Stepper ■転写方式：UVナノインプリント ■適応ワーク：φ2～8インチ ■モールド：石英モールド、PDMSモールド ■レジスト塗布：スピンコータ又はインクジェットによる前処理 ■アライメント精度：1μm（アライメントマークサイズによる） ■外形寸法：1800（H）×760（W）×1160（D） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

コンセプトは「ダレデモ」！生産状況の変化に即応した体制の構築が可能

【ラインアップ】 ■PRM-100 ■PRM-200 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

300mm×300mmサイズなどの大型ワークに対応！カスタマイズ可能なベースモデル

【その他の特長】 ■Model3001（ミクロ検査）：顕微鏡倍率での超高精度検査の自動化と高速化を追求 ■Model3002（マイクロズーム検査）：電動ズームmicro顕微鏡検査機 ■Model3003（マクロ検査）：低倍広視野検査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

録画機能搭載！貼合せ、バックグラインド、トリミングなど様々なウェハに対応

【仕様（抜粋）】 ■検査ウェハ：6インチ～12インチ（ホルダ変更で4インチ対応） ■検査対象：ウェハのエッジ部分 外周360度 角度設定1度単位 ■ビューワー 　・3方向 同時表示 ノッチ検査可能 　・目視にてクラック、傷、異物、膜面状態、面荒れなどが視認可能 ■スループット：10秒/枚～30秒/枚（条件による） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。