すべての製品・サービス
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マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』など2製品
1台のデバイスで複数のガスに対応するマスフローコントローラ/メータ。最大4台まで接続できるコンパクトなリードアウトユニットも紹介
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薄膜技術の基礎知識『薄膜技術とは?』 ※資料進呈
CVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介しております
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流量・圧力計測機器と関連サービス
耐久性に優れた製品を多数ラインアップ。修理メンテナンスなども対応可能。バイオ・EPC・薄膜業界へのアプローチを紹介した資料進呈
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気体・液体用マスフローコントローラ<真空・圧力計測と制御>
薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーしています!
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ガラス管面積式流量計/金属管面積式流量計
様々な液体や気体に適している「ガラス管面積式流量計」などについてご紹介!
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面積式流量計<EPC向けフローソリューション>
80カ国以上において70年以上にわたるグローバルな実績があります!
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サービス&サポート
信頼できる製品、専門性の高いサービス!機器を“新品同様の状態”に再生します!
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流量・圧力計測機器<バイオ医薬品・ライフサイエンス業界>
歩留まりや工程管理を安定させるために、信頼性の高い、正確な機器を!
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オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』
圧力制御を自動化し、圧力/背圧レギュレータとして使用できます!
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サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』
高圧ガス保安協会(KHK)の認証取得。都道府県の完成検査の手続きを簡略化。国内防爆(JPEx)の型式検定合格証も取得
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圧力ベースマスフローコントローラ【GP200シリーズ】
最高の性能を最大限に引き出す!先駆的な半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー
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メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF125シリーズ』
すべてを可能にするMFC
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蒸気供給モジュール『VDM300』
超高清浄度のDI蒸気供給において最高流量精度を実現
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エラストマシールマスフローメータ『5700シリーズ』
ターゲット化されたアプリケーション向けのコスト効率の高いガス流量測定のご紹介です!
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マスフローコントローラ/メータ『4800シリーズ』
スピード重視のフロープロセス向けの超高速応答!幅広い種類の非腐食性ガスに適しています
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マスフローコントローラ/メータ『SLAMfシリーズ』
厳しい環境にも対応する耐久性!優れた精度を実現する精密マスフローコントロール
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マスフローコントローラ/メータ『5850Eシリーズ』
長期安定性に優れ、生産の的確性を維持!信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います
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マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』
デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました!
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高温マスフローコントローラ『5850EMHシリーズ』
実証された長期安定性!高温アプリケーション向けの超高清浄性能をご提供いたします
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コリオリ式マスフローコントローラ/メータ Quantim QMC
第3世代の新しいQuantim QMC コリオリ式流量計は、微少流量の気体や液体の測定と制御のアプリケーションに最適です
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ガラス管面積流量計 ショーレートモデル 1350G, 1355G
実証済みの小流量レートにおけるパフォーマンス。様々なニーズにマッチする汎用オプションをご用意!
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金属管面積式流量計『MT3809Gシリーズ』
各種気体、液体および蒸気への適用に好適!幅広い温度、圧力、プロセスレンジに対応したメータです
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メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF100シリーズ』
応答速度および繰り返し性に優れたガス流量コントロール用アプリケーション
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ガラス管面積式流量計『Model GT1600』
ご希望の流量に合わせて当社指定のスケール/目盛の選択ができる流量計
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