顕微分光膜厚計 反射率の変化と膜厚の関係
薄膜から厚膜まで高精度に測定が可能な顕微分光膜厚計『OPTM』
反射率スペクトルは、同種材質の膜であっても、膜厚値の違いにより図のような異なる波形になります。 膜厚が薄い場合、図左側のようなスペクトルを示し、より厚くなると図中央から右側のようなスペクトルへと変化します。 これは光干渉現象によるものです。 大塚電子の膜厚計では高精度で高い波長分解能を持つ分光計測が可能で、正確に絶対反射率スペクトルを求めることができます。 これにより材質の持っている光学定数（n：屈折率、k：消衰係数）の解析も可能になります。
基本情報
●膜厚測定範囲： 1nm～35μm（機種選択による） ●測定時間 ： 1秒／1ポイント ●測定径 ： φ5μm、φ10μm、φ20μm、φ40μm
価格帯
納期
型番・ブランド名
OPTM series
用途／実績例
●機能性材料 ： 光学フィルム（AR膜、ベースフィルム、ITO、WET膜なそ） 機能性材料（SAW／BAWフィルター、レンズ、DLC膜、ポリイミドなど） 医療用材料（カテーテル、バルーン、鉗子など） ●半導体 ： Si半導体（SiO２/Si、レジスト/Si、SiO2/a-Si/SiO2/Si、SOI、Siなど） 化合物半導体（a-Si/GaAs、Al2O3/GaAs、a-Si/Al2O3/GaAs。SiC、GaN、Ga2O3など）
カタログ（2）
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この製品に関するニュース（3）
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JASIS2026へ出展します
2026年9月2日（水）から4日（金）まで、幕張メッセで「JASIS 2026」が開催されます。 大塚電子ではゼータ電位・粒子径・分子量測定システム ELSZneo、光波動場三次元顕微鏡 MINUK等の弊社製品を展示します。 ぜひ弊社ブースにて実機をお近くでご覧ください。 皆様のご来場をお待ちしております。
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取り扱い会社
大塚電子は、独自の｢光｣技術を用いて、大塚電子にしか出来ない画期的な新製品を作り出しています。 創業以来積み上げてきた要素技術を融合させながら、医用機器、分析機器、分光計測機器という3つの事業を展開しています。 【医用機器】 親会社である大塚製薬をはじめ、試薬メーカーなどと連携した、臨床検査機器、医療機器の開発・生産を主体とする事業を展開。最新テクノロジーを集結し、人々の健康に貢献しています。 【分析機器】 新素材解析のコアテクノロジーである光散乱の技術を、ナノテクノロジー領域の物性測定に応用。粒子径、ゼータ電位、分子量の測定法を基準に、新素材、バイオサイエンス、高分子化学、さらには半導体や医薬分野などへの展開を図ります。 【分光計測機器】 分光計測技術の代名詞であるマルチチャンネル分光器と、長年にわたって培ってきた解析技術の蓄積による製品群を生み出しています。多様化するニーズに応えながら、幅広い分野へと拡大し続けています。