XYステージ
XYステージ
当社は、PIMag(R)磁気リニアモーターとPIglideエアベアリングの分野での自社開発製品を利用しています。当社の高荷重XYステージと平面スキャナーは、工業生産現場と品質管理に大きく貢献しています。
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スキャン品質を維持する高精度XYステージ
1nm分解能と0.025µm再現性により、レーザー加工や計測工程の位置ズレを抑制
最終更新日
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2m/s高速スキャン対応 ウェハ検査用XYステージ
摩擦レス駆動により、高速エリアスキャン時の測定品質を維持
最終更新日
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小型XYステージ｜微細サンプルの位置再現性を維持するピエゾモータ
42×42mmの省スペース設計。顕微鏡・バイオ用途で±0.2µmの高再現位置決めを実現
最終更新日
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【計測・検査向け】高精度回転ステージ V-62xシリーズ
開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現
最終更新日
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【レーザー加工向け】ダイレクトドライブ高精度回転ステージ
開口付で高剛性、1µm未満の偏心と平坦度を実現する高速・高精度回転ステージ
最終更新日
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【半導体検査向け】エアベアリング A-311
エア浮上×リニアモータで高速・高精度ウェーハ検査を実現
最終更新日
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【レーザーマーキング向け】エアベアリング A-311
エア浮上×リニアモータで摩耗ゼロ。最大速度2m/s、センサー分解能1nm
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【電子部品向け】エアベアリング A-311
エアベアリング×リニアモータによる非接触駆動。基板・部品検査の高速化と安定化に貢献
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多軸同期時のスキャン品質を維持するモーションコントローラ
EtherCAT対応の最大4軸同期制御により、半導体・計測工程の位置ズレを低減
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【半導体製造向け】エアベアリング回転ステージ A-62x
ナノレベルの精度で、半導体製造プロセスを革新。
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【計測・検査向け】エアベアリング回転ステージ A-62x
摩擦ゼロの回転精度で、校正作業の精度向上に貢献
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【光学調整向け】エアベアリング回転ステージ A-62x
ナノレベルの精度で光学系の調整をサポート
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顕微鏡用XYステージ｜長時間観察で位置再現性を維持するピエゾ駆動
10nm分解能と自己保持機構により、ライブセル・共焦点観察時の画像位置ズレを低減
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【光学調整向け】超音波ピエゾモータ搭載XYステージ U-723
光学用途の高精度位置決めに。小型・分解能 10 nm、電源OFF時セルフロック。
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【顕微鏡向け】U-723 XY軸小型リニアステージ
顕微鏡のサンプル位置決めに。高精度、省スペース、セルフロック。
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【新製品】X-365 高精度モジュラー式XYガントリーシステム
精度・剛性・柔軟性を兼ね備えたXY機構
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【光学アライメント向け】リニアモーター駆動のステージ V-731
光学アライメントに最適！高精度位置決めリニアモータXY軸ステージ
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リニアモータステージ（1000N搬送／高精度検査）重量物向け
大型検査装置・レーザー加工向け。重量ワーク搬送時も高精度位置決めを維持
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【レーザー微細加工向け】高負荷リニアモーターステージ V-D07
光学機器の調整作業を精密かつスムーズに。高精度リニアステージ
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【顕微鏡向け】高精度XY軸リニアモーターステージV-P01
顕微鏡観察・自動イメージング向け 高精度XYステージ V-P01
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XYステージ（AOI検査／±1µm位置決め）高精度スキャン向け
自動光学検査・スキャニング向け。高速搬送と高再現性位置決めで測定精度を安定化
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回転品質の基盤となるエアベアリング回転モジュール
摩擦ゼロ構造と200nm以下の高精度回転により、光学・計測工程の誤差を低減
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【光学調整向け】XY多軸モーションシステム X-417
XY＋Z構成に対応する高精度多軸システム。用途に合わせて最適な構成が可能
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回転ステージ（光学アライメント／高精度角度補正）向け
レーザー・光学検査向け。微小角度補正により光軸ズレを抑え測定精度を安定化
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