電動モーター
電動モーター
電動モーターは、ボイスコイル、リニアモーター、トルクモーターなどの電磁ダイレクトドライブにより、機械的伝達機構を介さずに負荷を直接駆動する高精度駆動技術です。高い力密度と高速応答を特長とし、精密位置決めや高ダイナミクス制御を実現します。
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小型設計・多軸システム構築に対応した高精度Zステージ L-306
13mmストロークのコンパクト高精度Zステージ
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【光学調整・光学アライメント向け】高精度Zステージ L-310
光学アライメント・フォーカス調整に。高剛性クロスローラーガイド採用の精密Zステージ
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【研究開発向け】高精度Zステージ L-310
顕微鏡・光学実験・精密測定のZ軸位置決めに。高剛性クロスローラーガイド採用の精密Zステージ
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【半導体検査装置向け】最大荷重10kg・Zステージ L-310
ウェーハ検査・チップ検査のZ軸位置決めに。高剛性クロスローラーガイド採用の精密Zステージ
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【精密測定装置向け】耐荷重10 kg・高精度ZステージL-310
高剛性クロスローラーガイド採用。精密測定・研究用途のZ方向位置決めに最適
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リニア・回転ステージと組み合わせ可 高精度Zステージ L-310
工業、研究分野の精密ポジショニングに！高デューティサイクルのZステージ
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【半導体製造向け】ウェハ加工および検査に 高負荷リニアステージ
リニアモータ×エンコーダで高荷重600N（最大）でも滑らか＆高速応答
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【ウェーハ検査向け】摩擦レス・高精度XYステージ V-P01
高速・高精度なウェーハ検査をV-P01が実現
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【レーザー加工向け】滑らか動作の高精度XYステージ V-P01
レーザー加工の切断工程に。高精度位置決めと高速移動を実現
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【光学向け】低速域でも滑らか動作・高精度XYステージ V-P01
レンズ調整の精度と効率を向上させるXYステージ
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【計測機器向け】高精度XYステージ V-P01
校正作業の効率化と精度向上に貢献するXYステージ
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【研究開発向け】滑らかで安定制御・高精XYステージ V-P01
高速・高精度な実験をサポートするXYステージ
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