電動モーター
電動モーター
電動モーターは、ボイスコイル、リニアモーター、トルクモーターなどの電磁ダイレクトドライブにより、機械的伝達機構を介さずに負荷を直接駆動する高精度駆動技術です。高い力密度と高速応答を特長とし、精密位置決めや高ダイナミクス制御を実現します。
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小型設計・高分解能・高速動作 1軸リニアステージ L-836
60 mm幅・最大動作量200 mm、オプションで折返し駆動タイプ、保持ブレーキタイプ
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【レーザー加工向け】高精度1軸リニアステージ L-836
レーザー切断・レーザー加工に最適な高精度位置決めステージ
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【光学位置決め向け】小型・高精度1軸リニアステージ L-836
光学系の精密位置調整に最適。幅60mm・最大200mmストロークのコンパクト高精度リニアステージ
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【レーザー加工向け】V-308 高精度Z軸フォーカスステージ
最小10 nm分解能。レーザー加工ヘッドの高精度Z軸フォーカス制御
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最大1kgの重力補正 ボイスコイルフォーカスステージ V-308
最小動作10nmで、最大7mm移動、1kgまでの無電源保持 微細観察を支える高精度Z軸
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【半導体製造向け】ボイスコイルフォーカスステージ V-308
最小10 nm分解能、最大7 mmストローク。半導体装置の高精度Z軸フォーカス制御を実現
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【光学顕微鏡向け】V-308 高精度Z軸フォーカスステージ
最小10nm動作、最大7mm移動、1kg対応。微細観察を支える高精度Z軸
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【バイオテクノロジー向け】V-308フォーカスステージ
細胞観察・深部イメージングの精度を高める — ナノ精度Z軸フォーカスステージ
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【レーザー微細加工向け】高負荷リニアモーターステージ V-D07
光学機器の調整作業を精密かつスムーズに。高精度リニアステージ
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高負荷リニアモーターステージ V-D07|1000N耐荷&高精度
長寿命・高剛性設計|高負荷環境でも精密でスムーズな動作を実現
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高精度XY軸リニアモーターステージV-P01(精密位置決め対応)
高速・高加速度を実現する3相リニアモータ搭載。高精度スキャンに対応
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【顕微鏡向け】高精度XY軸リニアモーターステージV-P01
顕微鏡観察・自動イメージング向け 高精度XYステージ V-P01
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【光学調整向け】最大600Nの高荷重リニアステージ V-817
リニアモータ×高精度エンコーダで高荷重600Nでも滑らか・高速応答
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最大600Nの連続荷重のリニアステージ V-817
リニアモータ×エンコーダで高荷重600Nでも滑らか&高速応答
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【電子部品実装向け】最大800mmリニアステージ V-855
高速・高精度搬送を実現する最大800mmストロークのリニアモーターステージ
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【研究開発向け】800mmリニアモーターステージ V-855
高速4 m/s×高分解能で研究開発の位置決めを高精度化
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【計測向け】最大800mmストローク リニアステージ V-855
0.1 µm分解能と最高4 m/sの高速動作で高精度測定を実現
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最高速度4m/s・高精度位置決め用途 リニアステージ V-855
0.1 µmの最小インクリメンタルモーションで、無負荷時の最大速度4000mm/秒、最大加速度50 m/s²、耐荷重600N
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クリアアパーチャ設計 高精度XYステージ V-738
動作量は102×102 mmで、リニアモータとリニアエンコーダで、最小動作0.02µm、最大速度500 mm/sを実現
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【研究向け】高精度・高剛性・長寿命の回転ステージ V-62x
開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現
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【計測・検査向け】高精度回転ステージ V-62xシリーズ
開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現
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ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xシリーズ
開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現
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【半導体向け】V-62xシリーズ 高精度回転ステージ
開口付、高剛性、1µm未満の偏心と平坦度を実現
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【電子機器実装向け】高精度XY多軸モーションシステム X-417
用途に合わせて軸構成や仕様を柔軟に組み合わせ可能
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【光学調整向け】XY多軸モーションシステム X-417
XY+Z構成に対応する高精度多軸システム。用途に合わせて最適な構成が可能
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高精度・高速制御を実現するXY多軸システム X-417
用途に合わせて、必要な軸数や動作仕様に合った組合せで構成が可能
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【研究開発向け】柔軟に構成可 多軸モーションシステム X-417
用途に応じて軸数や仕様を自由に構成できる多軸モーションシステム
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【光学調整向け】真空環境対応有り・小型リニアステージ M-11x
サイズ60mm四方、XYZ軸対応のコンパクトリニアステージ
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【研究開発向け】小型リニアステージ・真空対応有り M-11x
サイズ60mm四方、XYZ軸対応のコンパクトリニアステージ
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小型で25mmまでの動作量:リニアステージ M-11x型
サイズ60mm四方で、XYZ軸の組合わせが可能なコンパクトリニアステージ
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