省スペース装置の位置決め品質を維持するリニアステージ

最大200mmストロークと0.1µm再現性により、光学アセンブリや検査工程の高精度搬送に対応

最終更新日 2026年06月06日

【レーザー加工向け】高精度1軸リニアステージ L-836

レーザー切断・レーザー加工に最適な高精度位置決めステージ

最終更新日 2026年03月16日

【光学位置決め向け】小型・高精度1軸リニアステージ L-836

光学系の精密位置調整に最適。幅60mm・最大200mmストロークのコンパクト高精度リニアステージ

最終更新日 2026年03月16日

【レーザー加工向け】V-308 高精度Z軸フォーカスステージ

最小10 nm分解能。レーザー加工ヘッドの高精度Z軸フォーカス制御

最終更新日 2026年02月18日

最大1kgの重力補正 ボイスコイルフォーカスステージ V-308

多光子顕微鏡・半導体検査向け。深部観察時も安定した焦点精度を維持

最終更新日 2026年06月02日

【半導体製造向け】ボイスコイルフォーカスステージ V-308

最小10 nm分解能、最大7 mmストローク。半導体装置の高精度Z軸フォーカス制御を実現

最終更新日 2026年02月18日

【光学顕微鏡向け】V-308 高精度Z軸フォーカスステージ

最小10nm動作、最大7mm移動、1kg対応。微細観察を支える高精度Z軸

最終更新日 2026年02月18日

【バイオテクノロジー向け】V-308フォーカスステージ

細胞観察・深部イメージングの精度を高める — ナノ精度Z軸フォーカスステージ

最終更新日 2026年02月18日

【レーザー微細加工向け】高負荷リニアモーターステージ V-D07

光学機器の調整作業を精密かつスムーズに。高精度リニアステージ

最終更新日 2026年03月10日

リニアモータステージ（1000N搬送／高精度検査）重量物向け

大型検査装置・レーザー加工向け。重量ワーク搬送時も高精度位置決めを維持

最終更新日 2026年06月02日

XYステージ（AOI検査／±1µm位置決め）高精度スキャン向け

自動光学検査・スキャニング向け。高速搬送と高再現性位置決めで測定精度を安定化

最終更新日 2026年06月02日

【顕微鏡向け】高精度XY軸リニアモーターステージV-P01

顕微鏡観察・自動イメージング向け 高精度XYステージ V-P01

最終更新日 2026年03月10日

【光学調整向け】最大600Nの高荷重リニアステージ V-817

リニアモータ×高精度エンコーダで高荷重600Nでも滑らか・高速応答

最終更新日 2026年03月12日

高荷重リニアステージ（600N搬送／精密検査）大型装置向け

大型ワーク検査向け。重量物搬送時も2µm再現性で測定品質を安定化

最終更新日 2026年06月02日

【電子部品実装向け】最大800mmリニアステージ V-855

高速・高精度搬送を実現する最大800mmストロークのリニアモーターステージ

最終更新日 2026年03月12日

【研究開発向け】800mmリニアモーターステージ V-855

高速4 m/s×高分解能で研究開発の位置決めを高精度化

最終更新日 2026年03月12日

【計測向け】最大800mmストローク リニアステージ V-855

0.1 µm分解能と最高4 m/sの高速動作で高精度測定を実現

最終更新日 2026年03月12日

リニアステージ（高速スキャン／高精度位置決め）AOI工程向け

最大50m/s²加速により高速検査工程でも安定したスキャン再現性を実現

最終更新日 2026年06月02日

クリアアパーチャ設計 高精度XYステージ V-738

動作量は102×102 mmで、リニアモータとリニアエンコーダで、最小動作0.02µm、最大速度500 mm/sを実現

最終更新日 2026年02月27日

【研究向け】高精度・高剛性・長寿命の回転ステージ V-62x

開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現

最終更新日 2026年03月19日

【計測・検査向け】高精度回転ステージ V-62xシリーズ

開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現

最終更新日 2026年04月08日

回転ステージ（高精度アライメント／ダイレクトドライブ）検査向け

ウェーハ検査・光学校正向け。高精度回転制御でアライメント精度と再現性を向上

最終更新日 2026年06月02日

【半導体向け】V-62xシリーズ 高精度回転ステージ

開口付、高剛性、1µm未満の偏心と平坦度を実現

最終更新日 2026年04月06日

【電子機器実装向け】高精度XY多軸モーションシステム X-417

用途に合わせて軸構成や仕様を柔軟に組み合わせ可能

最終更新日 2026年03月12日

【光学調整向け】XY多軸モーションシステム X-417

XY＋Z構成に対応する高精度多軸システム。用途に合わせて最適な構成が可能

最終更新日 2026年03月12日

XYステージ（実装位置決め／高剛性搬送）多軸モーションユニット

半導体・電子部品実装向け。高再現性位置決めにより実装ズレを抑制し品質を安定化

最終更新日 2026年05月16日

【研究開発向け】柔軟に構成可 多軸モーションシステム X-417

用途に応じて軸数や仕様を自由に構成できる多軸モーションシステム

最終更新日 2026年03月12日

【光学調整向け】真空環境対応有り・小型リニアステージ M-11x

サイズ60mm四方、XYZ軸対応のコンパクトリニアステージ

最終更新日 2026年03月11日

【研究開発向け】小型リニアステージ・真空対応有り M-11x

サイズ60mm四方、XYZ軸対応のコンパクトリニアステージ

最終更新日 2026年03月11日

型省スペース装置の位置決め品質を維持する小型リニアステージ

60mm角サイズでXYZ構成に対応し、小型検査装置や光学系の微細位置調整を実現

最終更新日 2026年06月06日