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ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xは、高分解能エンコーダを搭載したフリクションレスのトルクモーター駆動ステージです。 優れた回転精度（偏心および平坦度 <1 µm）と、微小なティルトエラー（±20 µrad）を実現し、高度なアライメントや回転制御が求められるアプリケーションに最適です。 プラットフォーム径は85 mm〜210 mm、任意方向設置に対応。光学系、半導体、バイオメディカルなど幅広い分野で活用できます。

・ダイレクトドライブによる効率的な動的性能 ・モーションプラットフォーム 直径85 mm、110 mm、210 mm ・偏芯および平面度 < 1 μm ・薄型 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

・サンプル検査 ・精密マイクロアセンブリ ・研究 ・バイオテクノロジー ・半導体検査・測定 ・オートメーション ・デバイス組立 ・レーザー微細加工 ・センサー校正とテスト ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。