【半導体向け】PIHera高精度Z軸ステージ 0.1 nm分解能
サブナノメートルの分解能を提供。0.1nm分解能・高リニアリティ垂直ポジショニング
半導体業界では、高精度な位置決めが求められます。特に、ウェーハ検査や微細構造の計測においては、サブナノレベルの安定性と高速な制御が不可欠です。位置決めの誤差は、計測結果の信頼性を損ない、歩留まりの低下につながる可能性があります。本製品は、0.1 nmの分解能と0.02 %の直線性により、半導体計測における高精度な位置決めを実現します。 【活用シーン】 ・ウェーハ検査 ・微細構造計測 ・干渉計 ・共焦点顕微鏡 【導入の効果】 ・計測精度の大幅な向上 ・歩留まりの改善 ・高速かつ高精度な位置決め ・サブナノレベルの安定性 詳細な製品仕様についてはカタログからご確認いただけます。ご質問などございましたら、ぜひお問い合わせください。
基本情報
【特長】 ・0.1 nmの分解能 ・0.02%の位置決め精度 ・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる長寿命 ・真空対応バージョンも用意 【当社の強み】 ドイツ本社で50年以上にわたり培ってきた精密制御技術をもとに、世界中の研究機関・装置メーカーに採用されるピエゾステージおよびアクチュエータを提供しています。豊富なラインアップと技術力で、お客様のニーズに最適なソリューションをご提案します。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
P-620.Z－P-622.Z PIHera 高精度ステージ
用途／実績例
応用例 ・干渉計 ・顕微鏡検査 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・品質保証試験 ・半導体技術
カタログ（3）
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取り扱い会社
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。