【精密加工向け】開口50mm ピエゾスキャナ P-517/527
摩擦ゼロのフレクシャガイド一体構造。ナノ精度で微細加工を支える高性能スキャナ
精密加工分野では、さらなる微細化と高品質化が進み、ナノレベルでの位置決め精度が製品性能を左右する重要な要素となっています。特にレーザ加工やマイクロパターニングでは、振動や摩擦によるわずかな誤差が加工品質に直結します。 P-517／P-527 マルチ軸ピエゾスキャナは、摩擦ゼロのフレクシャガイド一体構造を採用し、バックラッシュや摩耗を排除。PICMAピエゾセラミックと高分解能静電容量センサーにより、ナノレベルの再現性と高ダイナミクスを実現します。安定した高速応答により、微細加工における高精度な位置制御を可能にし、加工品質と歩留まり向上に貢献します。 【活用シーン】 ・レーザ微細加工装置 ・マイクロパターニング ・ウェーハ加工・検査装置 ・ナノポジショニング用途 ・精密計測・加工システム 【導入の効果】 ・ナノレベルの高精度加工制御 ・安定動作による加工品質向上 ・加工時間短縮と生産性向上 ・歩留まり改善によるコスト削減
基本情報
【特長】 ・2軸および3軸バージョン（XYおよびXYθZ） ・ストローク～200μm ・サブナノメートルの分解能 ・摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム ・静電容量センサーによる高いリニアリティ 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績と、日本法人30年の経験を活かし、お客様のニーズに最適な精密位置決めソリューションを提供します。ピエゾステージ＆アクチュエータをはじめ、多様な製品ラインナップと、グラナイト定盤などの周辺機器も提供し、お客様の課題解決をサポートします。
価格情報
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納期
用途／実績例
応用例 ・メトロロジー ・干渉計 ・光学 ・リソグラフィ ・ナノポジショニング ・走査型顕微鏡 ・マスストレージ装置試験 ・レーザーテクノロジー ・マイクロ機械加工
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ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッドなどの位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に総合的なソリューションを提供しています。是非ご覧下さい。