【計測向け】開口50mm ピエゾスキャナ P-517/527
摩擦ゼロのフレクシャガイド一体構造。高再現性ナノポジショニングで校正精度を向上
計測分野における校正や微細位置調整では、高い再現性と安定した位置決め性能が不可欠です。特にナノスケールでの測定やアライメントでは、わずかなバックラッシュや摩擦が測定結果の信頼性に影響を与えます。 P-517／P-527 マルチ軸ピエゾスキャナは、摩擦ゼロのフレクシャガイドによる一体型構造を採用し、ヒステリシスや機械的遊びを最小化。ナノレベルの分解能と高再現性により、校正作業や精密計測の精度向上に貢献します。安定した動作特性は、長期的な測定信頼性の確保にも寄与します。 【活用シーン】 ・光学検査装置 ・ウェーハ検査・計測装置 ・ナノポジショニング用途 ・精密計測システム ・顕微鏡・走査系装置 【導入の効果】 ・高再現性による校正精度の向上 ・摩擦ゼロ構造による安定した測定環境 ・測定データの信頼性向上と品質管理強化
基本情報
【特長】 ・2軸および3軸バージョン（XYおよびXYθZ） ・ストローク～200μm ・サブナノメートルの分解能 ・摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム ・静電容量センサーによる高いリニアリティ 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績を持つPI社は、世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータを提供しています。お客様のニーズに合わせた最適なソリューションをご提案します。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
P-517・P-527
用途／実績例
応用例 ・メトロロジー ・干渉計 ・光学 ・リソグラフィ ・ナノポジショニング ・走査型顕微鏡 ・マスストレージ装置試験 ・レーザーテクノロジー ・マイクロ機械加工
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ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッドなどの位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に総合的なソリューションを提供しています。是非ご覧下さい。