【ナノテクノロジー向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
ナノスケール位置制御を支える、100 µm × 3軸コンパクトXYZピエゾステージ
ナノテクノロジー分野では、試料やプローブの位置制御精度が実験結果の再現性を左右します。走査型プローブ顕微鏡（SPM）やナノリソグラフィー用途では、ナノメートル分解能での安定したXYZ制御が求められます。P-616 NanoCubeは、各軸100 µmのストロークを備えたコンパクトなXYZピエゾナノポジショナーです。高剛性フレクシャガイド構造によりバックラッシュのない滑らかな動作を実現し、ナノメートル分解能での高精度位置決めが可能です。 研究用途から装置組込みまで対応し、ナノスケール計測・加工・評価を支える位置制御プラットフォームとして活用されています。 【活用シーン】 ・走査型プローブ顕微鏡（SPM／AFM／STM） ・ナノリソグラフィー装置 ・ナノ材料評価 ・ナノデバイス研究開発 ・高精度試料位置決め 【導入の効果】 ・ナノメートル分解能による高精度位置制御 ・バックラッシュレス構造による高再現性 ・高剛性設計による安定したスキャン ・コンパクト設計で真空装置や研究装置への組込みが容易
基本情報
【特長】 ・最大100×100×100μmのトラベルレンジ ・きわめてコンパクトで軽量 ・すぐれた分解能と高速応答 ・高速3軸スキャニング ・摩擦がなく高精度なフレクシャガイドシステム 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績と、日本法人30年の経験に基づき、お客様のニーズに最適な位置決めソリューションを提供します。ピエゾステージをはじめ、幅広い製品ラインナップと、グラナイト定盤などの周辺機器も提供し、複合システムのご提案も可能です。
価格帯
納期
型番・ブランド名
P-616 NanoCube XYZ軸ピエゾステージ
用途／実績例
【用途】 ■フォト二クス／内蔵型光学装置 ■マイクロマニピュレーション ■バイオテクノロジー ■半導体試験 ■ファイバーポジショニング など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッドなどの位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に総合的なソリューションを提供しています。是非ご覧下さい。