【顕微鏡向け】PIMars XYZ軸開口部付ピエゾステージ
顕微鏡の試料位置決めをナノ精度で実現するPIMars XYZナノステージ
電子顕微鏡（SEM / TEM）による高分解能観察では、試料の位置決め精度が画像品質を左右します。わずかな振動やクロストークが測定精度に影響を与えるため、高剛性かつ高応答なポジショニングステージが不可欠です。 P-561・P-562・P-563・PIMars Nanopositioning Stages は、静電容量式センサーにより高精度と位置決め安定性を実現。動作量は、XYZ 各100／200／300 µm（モデル別）で再現性は±2nm、リニアリティ：0.03％をもちます。 【活用シーン】 ・電子顕微鏡観察における試料の位置決め ・半導体検査 ・超解像顕微鏡 ・フォトニクス調整 【導入の効果】 ・ナノオーダーでの精密な位置決めにより、観察精度が向上 ・高分解能と高速応答により、効率的な観察が可能 ・高信頼性と長寿命により、安定した運用を実現
基本情報
【特長】 ・パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ・動作軸：XYZ軸 ・ストローク：100µm、200µm、300µmタイプ ・静電容量センサーによる高いリニアリティ ・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ・センター開口部66 x 66mm 【当社の強み】 ドイツ本社で50年以上にわたり培ってきた精密制御技術をもとに、世界中の研究機関・装置メーカーに採用されるピエゾステージおよびアクチュエータを提供しています。豊富なラインアップと技術力で、お客様のニーズに最適なソリューションをご提案します。
価格情報
お気軽にお問い合わせください
納期
型番・ブランド名
P-561・P-562・P-563 PIMars(TM) XYZピエゾシステム
用途／実績例
応用例 ・走査型顕微鏡 ・マスク／ウェハー位置決め ・干渉計 ・各種計測 ・バイオテクノロジー ・マイクロマニピュレーション
関連動画
カタログ（6）
カタログをまとめてダウンロード
おすすめ製品
取り扱い会社
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッドなどの位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に総合的なソリューションを提供しています。是非ご覧下さい。