ヘキサポッド
ヘキサポッド
ピーアイの高精度ヘキサポッドは多様な駆動技術と直感的な制御を備え、研究用途から光学アライメント、自動組立まで幅広い用途に対応します。
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ヘキサポッド（6軸位置補正／光学検査）高精度アライメント機構
MEMS・光学検査向け。ナノ位置補正により測定時の微細ズレを低減し検査品質を安定化
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制限空間でも位置再現性を維持する小型ヘキサポッド
40nm分解能と±0.1µm再現性により、光位置合わせや品質保証試験の精度向上に貢献
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【研究向け】パラレルキネマティック・ヘキサポッドH-811.I2
コンパクトながら高精度なリファレンスクラスの6軸位置決めシステム
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【研究向け】H-840 ヘキサポッドシステム
高速6軸制御を実現するコンパクトヘキサポッド
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【製造業向け】H-840 ヘキサポッドシステム
±50 mm / ±30°対応・高速6軸制御ヘキサポッド
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高荷重でもアライメント品質を維持するヘキサポッド
30kg対応と±0.1µm再現性により、半導体製造や光学調整工程の位置ズレを低減
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【研究・実験向け】ヘキサポッド H-825
30kg耐荷重・±0.1µm再現性の6軸精密ヘキサポッド
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【製造業向け】ヘキサポッド H-825
30kg耐荷重・±0.1µm再現性の6軸高剛性ヘキサポッド
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重量物の位置再現性を維持する高耐荷重ヘキサポッド
250kg対応と±0.2µm再現性により、大型光学系や試験設備の高精度6軸補正を実現
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【宇宙開発向け】ヘキサポッド H-850
±0.2µm再現性・6軸高精度制御。天文光学系の精密アライメントに。
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【研究開発向け】ヘキサポッド H-850
±0.2µmの再現性、アブソリュートエンコーダ搭載の重荷重対応モデル
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【製造業向け】ヘキサポッド H-850
最大250kgの重量物を高精度に位置決め。アブソリュートエンコーダ搭載。
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アライメント時間を削減する高速フォトニクスアライメント
2.5nmピエゾ制御と9軸同期動作により、PICや光ファイバーの高速位置補正を実現
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【光学部品向け】6自由度フォトニクスアライメント F-713
高速6自由度制御でアライメント時間を大幅短縮するフォトニクスソリューション
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【研究向け】6自由度フォトニクスアライメント F-713.Hxx
ナノレベル精度と高速スキャンを両立する6DoFフォトニクスアライメント
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【光学向け】ヘキサポッド H-840.G2IHP
ナノメートル分解能で6自由度アライメントを実現する高剛性ヘキサポッド
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【ライフサイエンス向け】ヘキサポッド H-840.G2IHP
6自由度制御で高度バイオイメージングを支える高精度ヘキサポッド
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三次元計測の測定品質を維持するヘキサポッド
±0.1µm再現性と6軸制御により、光学アライメントや検査工程の位置補正を高精度化
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測定工程の再現性を維持する高精度ヘキサポッド
XY40nm・Z20nmステップ制御により、光学アライメントや検査工程の位置ズレを抑制
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【製造業向け】小型ヘキサポッド H-811.I2
コンパクトながら高精度な6軸位置決めシステムで製造工程を最適化
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光学アライメント品質を維持する小型ヘキサポッド
±0.06µmの高再現性により、光ファイバーやフォトニクス部品の6自由度調整を安定化
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【レーザー微細加工向け】産業用ヘキサポッド H-815
さまざまな方向で信頼性の高い位置決めを実行
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大型対象物の位置再現性を維持する高荷重ヘキサポッド
放射線治療や大型光学アライメントで、6軸同時補正による高精度位置決めを実現
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PI社 ヘキサポッド一覧カタログ
PI社：ヘキサポッド位置決めシステムのグローバルカンパニー・高精度ヘキサポッド位置決めステージ一覧
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事例紹介：ALMA望遠鏡の副反射鏡の背面へのヘキサポッド活用
ALMA天文台の50基のアンテナに採用！低気圧、最大50度の温度差、強風、埃、雨、海抜5000メートルという過酷な環境条件に適合
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【7つの応用事例】ヘキサポッド6軸位置決めシステム
【多軸位置決め】ヘキサポッド（6自由度）応用事例７選 6軸ステージの使いどころが分かる。ヘキサポッドの応用事例と構造を解説
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高速アライメントの位置再現性を維持する小型ヘキサポッド
サブミクロン再現性と高ダイナミクス制御により、フォトニクス工程の高速位置補正に対応
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